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薄膜材料楊氏模量測(cè)試結(jié)構(gòu)及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6229352

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本發(fā)明提出了一種薄膜材料楊氏模量的測(cè)試結(jié)構(gòu)及方法,該測(cè)試結(jié)構(gòu)由兩組結(jié)構(gòu)組成。所述第一組結(jié)構(gòu)中的由待測(cè)薄膜材料制作的懸臂梁(103)由錨區(qū)(103-2)和長(zhǎng)梁(103-1)連接而成,長(zhǎng)梁(103-1)和多晶硅懸臂梁(101)垂直,長(zhǎng)梁(103-1)的自由端位于多晶硅懸臂梁(101)的左邊第一凸點(diǎn)(101-5)之下;將力的加載驅(qū)動(dòng)部分和待測(cè)薄膜材料制作的楊氏模量測(cè)試結(jié)構(gòu)分開,通過(guò)幾何參數(shù)設(shè)計(jì)控制測(cè)試結(jié)構(gòu)的彎曲撓度,通過(guò)兩組測(cè)試結(jié)構(gòu)的相同部分受力相同的原理提取出...
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