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一種基于寬帶表面等離子體波的微區(qū)光譜測(cè)量裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6220166

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本發(fā)明公開了一種基于寬帶表面等離子體波的微區(qū)光譜測(cè)量裝置,主要是利用高數(shù)值孔徑顯微物鏡與寬帶徑向偏振光或稱徑向偏振白光搭建光譜測(cè)量裝置。入射寬帶環(huán)形徑向偏振光束被高數(shù)值孔徑油浸顯微物鏡聚焦到金屬薄膜上,激發(fā)金屬薄膜上表面的寬帶表面等離子體波,表面等離子體波沿界面向物鏡聚焦中心傳播,形成一個(gè)超衍射極限的聚焦白光光斑,即近場(chǎng)光斑,局域在金屬薄膜上表面。此光斑遇到被測(cè)樣品后被散射到遠(yuǎn)場(chǎng)并被光譜儀采集,從而獲得樣品的光譜信息。表面等離子體波具有很小的穿透深度,徑向...
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