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基于片式集成高精度測(cè)溫結(jié)構(gòu)的硅振梁加速度計(jì)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6197971

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本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基于片式集成高精度測(cè)溫結(jié)構(gòu)的硅振梁加速度計(jì),上層為真空封裝蓋板,下層為襯底,中層單晶硅上制作有加速度計(jì)機(jī)械結(jié)構(gòu);加速度計(jì)機(jī)械結(jié)構(gòu)包括外框架、質(zhì)量塊、兩個(gè)剛度調(diào)整組件、兩個(gè)測(cè)加速度諧振器、兩個(gè)測(cè)溫諧振器和四個(gè)一級(jí)杠桿放大機(jī)構(gòu),測(cè)加速度諧振器對(duì)稱布置在質(zhì)量塊的上、下兩端,該兩個(gè)測(cè)加速度諧振器的一端與外框架相連,另一通過(guò)剛度調(diào)整組件與左右對(duì)稱的一級(jí)杠桿放大機(jī)構(gòu)的輸出端相連;各一級(jí)杠桿放大機(jī)構(gòu)的支點(diǎn)端均與外框架相連,輸入端分別與質(zhì)量塊相連;測(cè)溫...
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