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薄膜應(yīng)力測(cè)試方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6188996

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本發(fā)明涉及一種,通過(guò)以下步驟分別測(cè)量鍍膜前、后的基片的曲率半徑1)將基片放置在樣品臺(tái)上;2)使激光器產(chǎn)生的入射激光束,穿過(guò)半透鏡到達(dá)所述基片,經(jīng)基片反射回半透鏡,再由半透鏡反射至激光探測(cè)儀;3)驅(qū)動(dòng)所述樣品臺(tái)運(yùn)動(dòng),并采集數(shù)據(jù),記錄運(yùn)動(dòng)的距離、以及所述激光探測(cè)儀表面的激光光斑的對(duì)應(yīng)移動(dòng)距離;4)對(duì)于鍍膜前表面平直的基片,通過(guò)普通測(cè)量模式的計(jì)算式計(jì)算薄膜應(yīng)力;對(duì)于鍍膜前表面不平直的基片,通過(guò)原位測(cè)量模式的計(jì)算式計(jì)算薄膜應(yīng)力。該測(cè)試方法可以有效提高測(cè)量精度。專利...
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