技術(shù)編號(hào):6188996
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種,通過(guò)以下步驟分別測(cè)量鍍膜前、后的基片的曲率半徑1)將基片放置在樣品臺(tái)上;2)使激光器產(chǎn)生的入射激光束,穿過(guò)半透鏡到達(dá)所述基片,經(jīng)基片反射回半透鏡,再由半透鏡反射至激光探測(cè)儀;3)驅(qū)動(dòng)所述樣品臺(tái)運(yùn)動(dòng),并采集數(shù)據(jù),記錄運(yùn)動(dòng)的距離、以及所述激光探測(cè)儀表面的激光光斑的對(duì)應(yīng)移動(dòng)距離;4)對(duì)于鍍膜前表面平直的基片,通過(guò)普通測(cè)量模式的計(jì)算式計(jì)算薄膜應(yīng)力;對(duì)于鍍膜前表面不平直的基片,通過(guò)原位測(cè)量模式的計(jì)算式計(jì)算薄膜應(yīng)力。該測(cè)試方法可以有效提高測(cè)量精度。專利...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。