技術(shù)編號(hào)：6183955
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種基于MEMS雙加熱器的熱導(dǎo)率和熱擴(kuò)散系數(shù)傳感器，包括基底，加熱器設(shè)置在基底的上表面中央，焊盤位于基底上表面加熱器的旁邊，和加熱器連接，絕緣層薄膜覆蓋在加熱器、焊盤和基底之上，絕緣層薄膜上設(shè)置有腔壁，腔壁和絕緣層薄膜形成空腔結(jié)構(gòu)中裝有被測(cè)液體，加熱器同時(shí)作為溫度傳感器；加熱器為多折結(jié)構(gòu)金屬帶，由兩根以上的等寬度、等間隔的平行金屬帶串聯(lián)而成，分為窄加熱器和寬加熱器，用已知熱導(dǎo)率和熱擴(kuò)散系數(shù)的參考液體作為被測(cè)液體反向推導(dǎo)出基底熱導(dǎo)率和熱擴(kuò)散系數(shù)，提高測(cè)量精度...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。