技術(shù)編號：6143335
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是一種雙剪切波面干涉測量儀，主要用于波面的測量，特別適合于波差小于一個波長的激光波面的精密測量。背景技術(shù)激光應(yīng)用中經(jīng)常要求發(fā)射激光光束達(dá)到高度的平行性，用于集中能量提高效率或者產(chǎn)生盡量小的聚焦光斑，前者如衛(wèi)星之間的激光通信，激光武器等，后者如光存儲等。光學(xué)衍射極限是光束受到孔徑限制條件下能夠達(dá)到的最小的發(fā)散度，此時光束波面只具有0.3λ左右的波面象差。波面的光學(xué)測量方法有兩種直接法和間接法。在直接法中，待測波面通過光學(xué)裝置產(chǎn)生一個標(biāo)準(zhǔn)參考波面，待測波...
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