技術編號：6131015
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是有關一種形貌檢測裝置，尤其是指一種可取得全方位角的形 貌影像數(shù)據(jù)的一種可調(diào)整傾角的形貌檢測裝置。背景技術按，精密的形貌檢測是現(xiàn)代科技中非常重要的一環(huán)，當許多零組件漸 漸微小化，就更需要精確可靠的檢測技術來驗證其微結構尺寸或形貌的精 準度，以確保質(zhì)量及制程能處于合格范圍中。其中利用光學非接觸檢測方式的量測技術，是利用非破壞方式取得待 測物表面精確的形貌信息，已廣泛應用于各種產(chǎn)業(yè)中，例如液體顯示器 (LCD)的增亮膜，即為利用一形貌檢測裝置來檢測其表面...
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