技術(shù)編號：6114171
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于在封裝內(nèi)容納有元件的半導(dǎo)體器件，特別地是關(guān)于封裝內(nèi)容納有分別檢測三維的加速度的加速度傳感器的半導(dǎo)體器件。背景技術(shù) 近年來，在自行車、機(jī)器人、各種精密機(jī)器等產(chǎn)業(yè)上的各種領(lǐng)域內(nèi)，加速度傳感器被廣泛應(yīng)用。其中，由于小型且重量輕、能夠期待進(jìn)行正確且準(zhǔn)確的動作、低成本等原因，對于利用了MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)的半導(dǎo)體加速度傳感器的需求劇增。半導(dǎo)體加速度傳感器中，存在通過利用與壓電電阻效應(yīng)、即電阻值與發(fā)生的應(yīng)力成比例地發(fā)生變化的現(xiàn)象，進(jìn)行加速度的測知...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。