技術(shù)編號：6111796
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及無線電、微電子、集成電路計量，具體地說是一種提供進行該項計量檢定的方法，即用于微電子量值溯源、傳遞、計量、檢定、校準和比對的微電子標準物質(zhì)制備技術(shù)。背景技術(shù) 集成電路測試是在計算機和集成電路的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，同時又為計算機和集成電路服務(wù)的高科技領(lǐng)域。集成電路測試系統(tǒng)是進行集成電路設(shè)計驗證、生產(chǎn)測試、入場篩選、可靠性分析、失效分析，保證集成電路質(zhì)量和可靠性的專用測試設(shè)備。集成電路測試量值的準確性是保證集成電路質(zhì)量和可靠性的關(guān)鍵。集成電路測試系統(tǒng)計...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。