技術(shù)編號：6104608
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及微小轉(zhuǎn)角測量，特別是一種微小轉(zhuǎn)角的干涉測量儀。具體地講是基于雙直角棱鏡和相位調(diào)制技術(shù)的一種微小轉(zhuǎn)角干涉測量儀。背景技術(shù)微小角度的檢測在精密控制與精密定位方面有著廣泛的應(yīng)用。由于生產(chǎn)加工自動化程度的提高，科學(xué)實驗過程的高效性及誤差溯源的科學(xué)性等要求，對被測物體空間自由度中轉(zhuǎn)角的探測提出了更高的要求。例如在工業(yè)加工控制操作中，某些工作平臺的微小旋轉(zhuǎn)角檢測的實現(xiàn)，沿直線運動的物體是否偏離其運動軌跡的監(jiān)測，都需要由高精度的精密檢測技術(shù)來完成。已有技術(shù)...
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