技術(shù)編號：6103059
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種測量系統(tǒng)及其方法，且特別涉及一種可以消除阿貝誤差的測量系統(tǒng)及其方法。背景技術(shù) 傳統(tǒng)三維微(納)米測量系統(tǒng)的架構(gòu)，如掃描探針顯微鏡(scanning probemicroscopy，SPM)、原子力顯微鏡(atomic force microscope，AFM)與三坐標(biāo)測量機(jī)(coordinate measuring machine，CMM)等，主要以形貌檢測系統(tǒng)及/或定位平臺等次系統(tǒng)所組成。形貌檢測系統(tǒng)主要工作為利用探針等方式取得待測物的表面...
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