技術(shù)編號(hào):5955789
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有抗沖擊性的。背景技術(shù) 圖15A和圖15B顯示了常規(guī)的半導(dǎo)體加速度傳感器。這種傳感器包括框架101,其內(nèi)部具有一開(kāi)口;撓性橫梁102,從框架101延伸到框架101的開(kāi)口內(nèi)并具有相交部分;重物103,其懸掛在橫梁102的交叉部分并由橫梁102的交叉部分支撐以使該重物可自由移動(dòng);壓電電阻器(未示出),其安裝在橫梁102上并且隨橫梁102中由于重物的位移所產(chǎn)生的變形而改變電阻值;以及底座105。(例,參考日本特開(kāi)專(zhuān)利公開(kāi)Hei 8-327656和...
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