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利用合成波長法實現(xiàn)納米測量的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5935451

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本發(fā)明涉及一種,屬于精密測量納米計量學(xué)是20世紀最后十年才誕生的一門全新的學(xué)科。根據(jù)美國國家標準及技術(shù)研究所(NIST)的定義納米計量學(xué)是測量1納米或更小的物體尺寸或物體確定性的科學(xué)。它是納米科學(xué)的一個重要基礎(chǔ)和分支,占有舉足輕重的地位。例如,在過去35年的電子革命過程中,微電子技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展使門電路的尺寸不斷縮小,使得手持蜂窩式移動電話、地球低軌道上質(zhì)量僅僅為10公斤的小型衛(wèi)星廣播系統(tǒng),以及可以與70年代大型計算機相匹敵的個人計算機成為現(xiàn)實。在大規(guī)模集...
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