技術(shù)編號：5762421
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體、化學(xué)品、藥品與精密機械零件等的制造中所用的氣體那樣的各種流體的壓力式流量控制裝置，更詳細(xì)地講，是涉及在壓力式流量控制裝置的節(jié)流孔中產(chǎn)生堵塞時檢知由于其堵塞而產(chǎn)生的流量異常的方法。背景技術(shù) 以往，在半導(dǎo)體制造設(shè)備與化學(xué)藥品制造設(shè)備的流體供給裝置中，特別是在需要高精度的流量控制的情況下，在流量控制用途中，其大部分一直使用質(zhì)量流量控制裝置。但是，在質(zhì)量流量控制裝置中存在下述各種缺點①在熱式流量傳感器的情況下，應(yīng)答速度比較慢；②在低流量區(qū)域的控制...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。