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按標(biāo)準(zhǔn)形式設(shè)計(jì)的表面安裝歧管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5586157

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本發(fā)明一般涉及用于流體系統(tǒng)的歧管,尤其涉及一種按標(biāo)準(zhǔn)形式設(shè)計(jì)的氣體,所述分配系統(tǒng)在諸如用于制造半導(dǎo)體晶片的潔凈室環(huán)境的高純度流體系統(tǒng)和腐蝕性流體系統(tǒng)中使用。背景技術(shù)本申請(qǐng)要求1998年3月5日提交的U.S.在先申請(qǐng)No.60/076,871的利益。為制造半導(dǎo)體,工業(yè)上使用各種高純度氣體。這些氣體由一個(gè)系統(tǒng)控制,該系統(tǒng)由高純度閥、調(diào)節(jié)器、壓力轉(zhuǎn)換器、流量控制器和其它通過(guò)焊接和高純度金屬封裝連接到一起的零件構(gòu)成。在許多應(yīng)用中不希望有這些連接件,因?yàn)樗鼈儠?huì)增加用...
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