技術(shù)編號(hào):5586157
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及用于流體系統(tǒng)的歧管,尤其涉及一種按標(biāo)準(zhǔn)形式設(shè)計(jì)的氣體,所述分配系統(tǒng)在諸如用于制造半導(dǎo)體晶片的潔凈室環(huán)境的高純度流體系統(tǒng)和腐蝕性流體系統(tǒng)中使用。背景技術(shù)本申請(qǐng)要求1998年3月5日提交的U.S.在先申請(qǐng)No.60/076,871的利益。為制造半導(dǎo)體,工業(yè)上使用各種高純度氣體。這些氣體由一個(gè)系統(tǒng)控制,該系統(tǒng)由高純度閥、調(diào)節(jié)器、壓力轉(zhuǎn)換器、流量控制器和其它通過(guò)焊接和高純度金屬封裝連接到一起的零件構(gòu)成。在許多應(yīng)用中不希望有這些連接件,因?yàn)樗鼈儠?huì)增加用...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。