技術(shù)編號：5267117
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。相關(guān)申請的交叉引用不適用關(guān)于發(fā)明是否屬于聯(lián)邦資助研究或開發(fā)項目的聲明不適用涉及以光盤形式提交的“序列表”、表、或計算機程序列表附錄不適用發(fā)明背景本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的驅(qū)動，尤其涉及雙軸尖端傾斜(tip-tilt)MEMS鏡子的驅(qū)動。本發(fā)明可應用于靜電驅(qū)動光開關(guān)，但不局限于此。利用四個驅(qū)動元件以靜電驅(qū)動方式和磁驅(qū)動方式來驅(qū)動雙軸尖端傾斜MEMS鏡的方案是眾所周知的。四元件結(jié)構(gòu)具有關(guān)于正交的尖端傾斜軸簡明對稱的優(yōu)點，因此在傾斜取向(orient...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。