技術(shù)編號：4993932
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于再生離子交換劑的方法與設(shè)備，更特別地講，涉及這樣一種用于再生這樣離子交換劑的方法與設(shè)備該方法與設(shè)備在用來處理一塊片基(譬如一塊半導(dǎo)體晶片)表面的導(dǎo)電材料或者除去附著在該片基表面的雜質(zhì)的電解處理中，能夠用電化學(xué)方法除去該電解過程中使用的離子交換劑內(nèi)所吸收的金屬或其他離子，從而再生該離子交換劑。本發(fā)明也涉及電解處理裝置及方法，提供用來再生離子交換劑的設(shè)備，并可用于處理一塊片基(譬如一塊半導(dǎo)體晶片)表面的導(dǎo)電材料或者除去附著在該片基表面的雜質(zhì)，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。