技術(shù)編號(hào)：4750896
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及空調(diào)機(jī)，特別涉及處理外氣的外氣處理機(jī)的氣體去除裝置的結(jié)構(gòu)及控 制。背景技術(shù)近年來，將冷水、溫水向空氣噴霧來進(jìn)行空調(diào)的凈氣器，例如，已在半導(dǎo)體工廠的 凈化間用外氣處理機(jī)等中作為氣體去除裝置采用。在半導(dǎo)體的生產(chǎn)工序中，為了以高效率 去除外氣中的微量氣體成分，采用了充分利用純水的氣體吸收力的凈氣器。作為此凈氣器，例如，有日本專利公報(bào)特開2000-312810號(hào)公報(bào)中公開的凈氣器。 凈氣器，其主體殼在空氣入口和空氣出口之間具有水噴霧室，在空氣入口配置了最...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。