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電弧型蒸發(fā)源的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3425532

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本發(fā)明涉及一種用電孤放電熔化陰極以蒸發(fā)陰極材料的電弧型蒸發(fā)源。例如,蒸發(fā)源可用于在基材,例如工具、機(jī)件、模具、外涂層部件等等的表面上生成由陰極材料組成的薄膜或由陰極材料的氮化物、氧化物等組成的薄膜,這樣可改善基材的耐磨能力,滑動(dòng)性質(zhì),抗咬性質(zhì),裝飾性能等等。在電弧型蒸發(fā)源中蒸發(fā)的陰極材料中被陰極附近形成的電弧等離子體電離的陰極材料離子占很大比例。在電弧離子噴鍍方法或電弧離子噴鍍?cè)O(shè)備中,這類陰極材料離子籍助電場(chǎng)導(dǎo)向基材,在基材表面生成薄膜。因此,電弧離子噴鍍...
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