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噴淋頭及反應(yīng)腔室的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3294705

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本發(fā)明公開(kāi)了一種噴淋頭及反應(yīng)腔室。所述噴淋頭包括自上而下堆疊設(shè)置的頂板、氣體分配板及冷卻板,所述氣體分配板包括貫穿所述氣體分配板的多個(gè)第一通孔,所述氣體分配板的下表面具有多個(gè)凹陷,所述凹陷設(shè)置在所述相鄰第一通孔之間的區(qū)域,所述冷卻板間隔設(shè)置有貫穿所述冷卻板的第二通孔和第三通孔,所述第三通孔與第一通孔相連通,所述第二通孔與所述凹陷相連通。本發(fā)明通過(guò)在氣體分配板中設(shè)置凹陷及通孔,使得氣體通道直接通過(guò)在氣體分配板中設(shè)置通孔形成,不需要進(jìn)行焊接,使得整個(gè)噴淋頭的結(jié)...
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