技術(shù)編號(hào)：3249431
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于用于將化學(xué)制品遞送給工具的系統(tǒng)和方法，更 具體地i兌，是關(guān)于利用化學(xué)制品的至少兩個(gè)源頭的化學(xué)制品遞送 系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)化學(xué)制品遞送系統(tǒng)被應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域中，舉例來(lái)說(shuō)，在半導(dǎo) 體制藥中，以及化妝品工業(yè)中。半導(dǎo)體制造業(yè)典型地4吏用化學(xué)制 品分配系統(tǒng)將化學(xué)制品遞送《會(huì)加工工具。具體地說(shuō)，泥漿分配系統(tǒng)遞送泥漿用于化學(xué)^L械拋光(CMP)。通常，期待向加工工具 提供有精確流體速度的化學(xué)制品或泥漿。易受輸入壓力的變化影 響的流量計(jì)常常被用來(lái)將泥漿和化學(xué)制...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。