技術(shù)編號(hào)：2979243
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開內(nèi)容整體上涉及離子注入系統(tǒng)，且更特別地，涉及控制離子注入機(jī)中的離子束。背景技術(shù)典型的離子束注入機(jī)包括用于從源材料產(chǎn)生帶正電荷的離子的離子源。所產(chǎn)生的離子形成束并被沿著預(yù)定束路徑弓I導(dǎo)至注入站。離子束注入機(jī)可以包括在離子源和注入站之間延伸的束形成成形結(jié)構(gòu)。束形成成形結(jié)構(gòu)保持離子束并包圍細(xì)長內(nèi)腔或通道，所述束在途中經(jīng)過該細(xì)長內(nèi)腔或通道到達(dá)注入站。當(dāng)操作注入機(jī)時(shí)，該通道可以被抽成真空，以降低由于離子與殘留氣體分子碰撞而導(dǎo)致離子從預(yù)定束路徑偏轉(zhuǎn)的可能性。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。