技術(shù)編號：2967677
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及以物理汽相沉積(“PVD”)和化學(xué)汽相沉積(“CVD”)使薄膜材料同時沉積在基底上的設(shè)備，尤其是涉及以濺射和微波化學(xué)汽相沉積使薄膜材料同時沉積在基底上，最好是在基底材料的加長幅面料上的新穎設(shè)備。背景技術(shù)通過薄膜工藝可制出各種產(chǎn)品。通過薄膜材料的沉積可制造的產(chǎn)品的例子包括用于光學(xué)控制及太陽能控制的干涉儀堆棧。一種太陽能控制產(chǎn)品的例子公開于Woodard等人的美國專利No.5,494,743中，題目為“ANTIREFLECTION COATIN...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。