技術編號：2966738
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微電子器件及其制造工藝，具體涉及在包含發(fā)射極和陽極的腔室外部設置柵電極的絕緣柵場致發(fā)射微電子器件。在本發(fā)明說明書和所述權利要求中可互換地使用術語“柵極”和“柵電極”來表示除了電子場致發(fā)射器件的發(fā)射極或陽極以外的任何電極，而不管柵極作為控制電極或抽取電極還是執(zhí)行其它功能。微電子器件可以具有多于一個柵極，并且物理上不同的柵極可以是獨立供電的或者被施加相關的電位。術語“橫向”一般指與其上形成了電子器件的襯底平行的方向。因此，“橫向場致發(fā)射器件”指一種在...
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