技術(shù)編號：2961617
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及真空微電子領(lǐng)域中的碳納米管應(yīng)用，是。背景技術(shù) 碳納米管是一種具有獨特物理化學(xué)性質(zhì)的納米材料，碳納米管薄膜已被用作場發(fā)射顯示器、像素管、冷光源的陰極。但是，碳納米管薄膜陰極的場發(fā)射均勻性一直沒有得到很好的解決，以致于采用碳納米管薄膜作陰極的場發(fā)射顯示器件和光源器件的均勻性一直沒有得到很好的解決。同時，由于碳納米管薄膜冷陰極中碳納米管的高度差別，使得很多應(yīng)用情況下，陰極容易與控制電極發(fā)生短路。目前尚無很好的技術(shù)或方法來解決上述問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明針對...
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