技術(shù)編號：2945634
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種聚焦離子束系統(tǒng)，尤其涉及具有生成多個離子種類(species)的離子源的聚焦離子束系統(tǒng)。背景技術(shù)一些聚焦離子束(FIB)鏡筒旨在供發(fā)射多個離子種類的離子源采用。為了選擇這些離子種類中的僅一種用于待聚焦到襯底上的射束，所述FIB鏡筒通常將包括濾質(zhì)器。一 種類型的濾質(zhì)器(“維恩(Wien)過濾器”)采用交叉的電場和磁場(ExB)使不需要的離子種類離軸偏轉(zhuǎn)，由此使它們撞擊質(zhì)量分離隙孔，并且也被稱為“ExB過濾器”。ExB過濾器根據(jù)本領(lǐng)域公知的原理工...
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