技術(shù)編號(hào)：2895451
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，屬于微等離子體陣列裝置領(lǐng)域。 背景技術(shù)傳統(tǒng)大氣壓附近的弱電離等離子體非常不穩(wěn)定，特別容易產(chǎn)生弧光放電。但是，將 工作氣體限制在微米級(jí)的空間中，就可以產(chǎn)生穩(wěn)定的輝光放電。此類放電所產(chǎn)生的等離子 體通常被稱為"微等離子體"。微等離子體具有弱電離、邊界主導(dǎo)現(xiàn)象和高粒子濃度等特征， 得到了越來越多研究人員的重視。 微等離子體的應(yīng)用發(fā)展很快，最常見的包括顯示器、生物醫(yī)療診斷和環(huán)境傳感等 方面。它常被用作紫外線輻射源和離子源。在環(huán)境治理方面主要用于處理...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。