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用于定位透射電子顯微鏡試樣的電動(dòng)操縱器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2891912

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本發(fā)明涉及一種電動(dòng)操縱器,其用于對(duì)構(gòu)件以亞微米分辨率而平 行于y-z平面進(jìn)行定位,并在該y-z平面中旋轉(zhuǎn)該構(gòu)件,這種操縱器 包括基座和用于將構(gòu)件附連到該操縱器上的附連裝置。背景技術(shù)在美國(guó)專利No. US6,388,262中描述了這種操縱器。 己知的操縱器用于在透射電子顯微鏡(TEM)中對(duì)試樣形式的構(gòu)件 定位和定向。操縱器包括支承臂殼體,其穿過TEM殼體(該操縱器安 裝在該TEM殼體上)。支承臂殼體的一端因而定位在該設(shè)備的內(nèi)部, 并因而被真空包圍,而另一端暴...
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