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微型可調(diào)諧紅外濾光器及其制備工藝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2779459

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本發(fā)明屬于微光學(xué)器件,涉及一種用于紅外成像的紅外可調(diào)諧濾光器及制作工藝的改進(jìn)。已有技術(shù)現(xiàn)狀目前國際上用于紅外成像的紅外可調(diào)諧濾光器有聲光方法、Fabry-Perot方法和Fourier變頻光譜方法等,均具有高透射、寬接收角和寬可調(diào)型焦平面變頻等優(yōu)點。其共同的不足是體積過大。近幾年國外也提出了微型化結(jié)構(gòu)及制作方法,由于其各部分分別采用微機(jī)械和機(jī)械方法制作,使得濾光器的制造沒有完全解決微型化、集成化過程中存在的工藝兼容這一關(guān)鍵問題。已有結(jié)構(gòu)(T.R.Ohnst...
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