技術(shù)編號：2772782
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明有關(guān)于一種光罩處理器，其中，顯影程序及蝕刻程序系分別在不同的室中予以進行，以防止制程缺陷(例如，鉻點缺陷)的發(fā)生，以及一種使用此光罩處理器來處理光罩的方法。背景技術(shù) 傳統(tǒng)上，在制作光罩的制程方面，顯影程序和蝕刻程序一般是在同一個處理室中予以進行的。但是，實施光罩顯影操作所使用的顯影液是呈弱堿性的，而實施光罩蝕刻操作所使用的蝕刻液是呈弱酸性的，如果在同一個處理室中進行顯影程序和蝕刻程序，將會起酸和堿的反應(yīng)而產(chǎn)生結(jié)晶系固體(亦即，結(jié)晶產(chǎn)物)粘著于處理室的...
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