技術(shù)編號：2772706
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及可用于由光刻技術(shù)進行器件制造的檢驗方法，和采用光刻技術(shù)制造器件的方法。背景技術(shù) 光刻裝置是把需要的圖案施加在基底靶部上的機器。光刻裝置可用于例如集成電路(IC)的制造。在那種情況下，構(gòu)圖部件，如掩膜，可用于形成與IC單層相對應的電路圖案，該圖案可成像于具有一層輻射敏感材料(抗蝕劑)的基底(如硅晶片)靶部(如包括一個或許多小片的部分)上。通常，單基底包含連續(xù)曝光的相鄰靶部的網(wǎng)格。已知的光刻裝置包括所謂的分檔器，其中通過將全部圖案一次曝光于靶部上而輻...
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