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在一基體上形成圖案的方法和裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2506558

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本發(fā)明涉及一種在一基體上形成圖案的方法和裝置。EP 0590164B1已公開了這樣一種方法和這樣一種裝置。在該現(xiàn)有方法中,用其上至少有一噴嘴的一噴頭按照一圖案把液體噴到一基體上,為此,用驅(qū)動(dòng)裝置使其上至少有一噴嘴的噴頭與基體作相對(duì)運(yùn)動(dòng)。該液體比方說可以是液化蠟,在噴到基體上后干燥,從而按照?qǐng)D案蓋住基體。事實(shí)表明,在圖案較大而加工時(shí)間較長時(shí)噴頭的某些或所有噴嘴會(huì)發(fā)生堵塞,從而導(dǎo)致圖案質(zhì)量下降。在液滴從噴頭噴到基體上時(shí),由于液滴在基體上飛濺以及其他物理效應(yīng),會(huì)...
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