技術編號：2310131
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于半導體自動化加工領域，主要涉及一種。背景技術集成電路(IC)是電子信息產(chǎn)業(yè)的核心，是推動國民經(jīng)濟和社會信息化發(fā)展的最主要的高新技術之一。國家在十五“863”計劃中，將集成電路制造裝備列入了重大專項計劃，實現(xiàn)我國集成電路制造裝備的局部突破和IC裝備產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展。潔凈機器人是IC制造設備的重要組成部分，可實現(xiàn)晶圓的自動化傳輸，晶圓極易破碎，這要求機械手臂連同晶圓托盤實現(xiàn)較高精度的定位，但是由于制造工藝、裝配誤差的原因，機械手臂的長度和初始位置與設...
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