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線鋸裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1806809

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本發(fā)明涉及一種線鋸裝置,更詳細(xì)地涉及一種具備能夠接收在通過(guò)線鋸切割錠塊 時(shí)所產(chǎn)生的碎片等的籃子的線鋸裝置。背景技術(shù)一般來(lái)說(shuō),在錠塊的成長(zhǎng)(growth)工序結(jié)束之后,為了將錠塊制成晶片,進(jìn)行按單 片單位切割錠塊的切片工序。這種切片工序有多種形式,其中典型的是線鋸(Wire Saw)方式,即為在腔室內(nèi)使 鋼琴線或高張力線高速往返移動(dòng),并在其上噴灑淤漿(slurry)溶液,通過(guò)沾在線上的淤漿 和單晶錠塊之間的摩擦而進(jìn)行切割的方式。線鋸方式可將錠塊同時(shí)切割為多個(gè)...
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