技術(shù)編號：12774282
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及化工領(lǐng)域，具體而言，涉及一種制備電子級二氯二氫硅的裝置。背景技術(shù)電子級二氯二氫硅屬于硅源電子特氣，主要用于硅外延片的硅源氣體，它目前主要用于晶體硅的取向附生、硅的氮化物制備以及大規(guī)模集成電路中多晶硅的制備。目前，電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，二氯二氫硅電子氣作為原材料，它的市場需求持續(xù)增長，但是我國電子級以上的二氯二氫硅的產(chǎn)量不足，高純二氯二氫硅電子氣嚴(yán)重依賴海外市場。二氯二氫硅電子氣的市場需求規(guī)模在持續(xù)增長，但是我國電子級二氯二氫硅產(chǎn)量基本沒有，全部依賴海外市場。目前，生產(chǎn)高純二氯二氫硅主要...
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