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一種多功能單雙面連續(xù)式卷繞磁控濺射鍍膜設(shè)備的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12430836

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本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù),具體涉及一種多功能單雙面連續(xù)式卷繞磁控濺射鍍膜設(shè)備。背景技術(shù)磁控濺射鍍膜是利用帶電荷的粒子在電場中加速后具有一定動(dòng)能的特點(diǎn),將離子引向欲被濺射的物質(zhì)制成的靶電極(陰極),并將靶材原子濺射出來使其沿著一定的方向運(yùn)動(dòng)到襯底并最終在襯底上沉積成膜的方法。采用磁控濺射技術(shù)鍍膜厚度及均勻性可控,且制備的薄膜致密性好、粘結(jié)力強(qiáng)及純凈度高,因此,磁控濺射技術(shù)已經(jīng)成為制備各種功能薄膜的重要手段,主要應(yīng)用于光電材料、包裝材料、反光材料、保溫隔熱材料、表面裝潢材料、電氣材料等。隨著現(xiàn)代工...
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