技術編號：12065482
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及壓電精密致動應用技術領域，尤其涉及一種基于壓電疊堆的微位移定位機構。背景技術在光通信技術的進步和廣泛應用過程中，對系統(tǒng)的集成化需求推動集成光學不斷發(fā)展，產生了眾多功能多樣的光路集成元件——光波導。除了集成化后帶來空間體積大大縮減到優(yōu)勢外，光波導同時提高了光路對環(huán)境的抗干擾能力，且容易實現(xiàn)大批量生產。因此，光波導技術的發(fā)展水平關乎光通信產業(yè)等國民經濟重要領域的發(fā)展。典型的光波導器件有陣列波導光柵、梳狀濾波器、光分支耦合器、分波合波器、寬帶耦合器、光隔離器以及光衰減器等，這些器件在光路中實...
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