技術(shù)編號:11955501
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種真空封裝氣室系統(tǒng)及其封裝方法。背景技術(shù)真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)是用于制備輝光放電發(fā)光器件的必須設備,其廣泛應用于各種氣體本身的磁學、光學等特性的研究,同時真空封裝氣體輝光發(fā)光器件也廣泛應用于醫(yī)療消毒、環(huán)境檢測、半導體材料光損傷檢測等領(lǐng)域。現(xiàn)在有的真空氣室封裝僅限于封裝單一的功能,其后要通過拉玻璃泡的方式注入工作氣體,其壓強控制誤差很大,同時無法滿足一體化制備的要求,工藝步驟較多。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)及其封裝方法;以解決現(xiàn)有真空氣室封裝僅限于封裝單一...
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