技術(shù)編號：11955501
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種真空封裝氣室系統(tǒng)及其封裝方法。背景技術(shù)真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)是用于制備輝光放電發(fā)光器件的必須設備，其廣泛應用于各種氣體本身的磁學、光學等特性的研究，同時真空封裝氣體輝光發(fā)光器件也廣泛應用于醫(yī)療消毒、環(huán)境檢測、半導體材料光損傷檢測等領(lǐng)域。現(xiàn)在有的真空氣室封裝僅限于封裝單一的功能，其后要通過拉玻璃泡的方式注入工作氣體，其壓強控制誤差很大，同時無法滿足一體化制備的要求，工藝步驟較多。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種真空封裝發(fā)光氣體氣室系統(tǒng)及其封裝方法；以解決現(xiàn)有真空氣室封裝僅限于封裝單一...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。