技術(shù)編號：11925514
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，特別是涉及一種平面柵溝槽型超級結(jié)器件。本發(fā)明還涉及一種平面柵溝槽型超級結(jié)器件的制造方法背景技術(shù)超級結(jié)為由形成于半導(dǎo)體襯底中的交替排列的P型薄層也稱P型柱(Pillar)和N型薄層也稱N型柱組成，利用P型薄層和N型薄層完成匹配形成的耗盡層來提升反向耐壓同時保持較小的導(dǎo)通電阻。超級結(jié)的PN間隔的Pillar結(jié)構(gòu)是超級結(jié)的最大特點?，F(xiàn)有制作PN間隔的pillar結(jié)構(gòu)主要有兩種方法，一種是通過多次外延以及離子注入的方法獲得，另一種是通過深溝槽刻蝕以及外延(EPI)填充的...
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