技術(shù)編號：11799158
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明實施例涉及運動微機電系統(tǒng)(MEMS)封裝件。背景技術(shù)諸如加速器、壓力傳感器和麥克風的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件已發(fā)現(xiàn)廣泛應(yīng)用于許多現(xiàn)代電子設(shè)備中。例如，MEMS加速器常見用于汽車(例如，安全氣囊系統(tǒng)中)、平板電腦或智能手機中。發(fā)明內(nèi)容根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，提供了一種微機電系統(tǒng)(MEMS)封裝件，包括：器件襯底，包括具有可移動部分或靈活部分的MEMS器件，所述可移動部分或靈活部分相對于所述器件襯底是可移動的或靈活的；以及CMOS襯底，接合至所述器件襯底；其中，所述可移動部分或靈活部分的表面...
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