技術(shù)編號：11502297
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實施例涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，更具體地涉及半導(dǎo)體器件和MEMS器件。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件是一種微型器件，其尺寸通常在從小于1微米至幾毫米的范圍內(nèi)。MEMS器件包括感測諸如力、加速度、壓力、溫度或振動的物理條件的機(jī)械元件(靜止元件和/或可移動元件)和處理電信號的電子元件。MEMS器件廣泛地用于諸如汽車系統(tǒng)、慣性制導(dǎo)系統(tǒng)、家用電器、各種器件的保護(hù)系統(tǒng)、以及許多其他工業(yè)、科學(xué)、和工程系統(tǒng)的應(yīng)用中。此外，MEMS應(yīng)用延伸至諸如可移動反光鏡的光學(xué)應(yīng)用和諸如射頻(RF)開關(guān)的RF應(yīng)用。發(fā)明內(nèi)容...
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