技術(shù)編號(hào)：11141750
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及作為半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能面板制造裝置中的工藝腔室、其他腔室的氣體排氣機(jī)構(gòu)等利用的真空泵。背景技術(shù)以往，作為這種真空泵，例如已知有圖10所示的真空泵P10。該圖的真空泵P10（以下稱作“以往泵P10”）作為借助轉(zhuǎn)子6的旋轉(zhuǎn)而將氣體壓縮、排出的機(jī)構(gòu)，具備翼排氣部Pt和螺紋槽排氣部Ps。特別是，在該以往泵P10中，作為螺紋槽排氣部Ps的具體的結(jié)構(gòu)，采用由轉(zhuǎn)子6內(nèi)周側(cè)的螺紋槽排氣流路R1和該轉(zhuǎn)子6外周側(cè)的螺紋槽排氣流路R2向相同方向?qū)怏w壓縮、排出的方式（并行流式），所以...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。