技術(shù)編號(hào)：11140645
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于在被涂布部件的表面形成涂膜的涂布裝置以及涂布方法、和使用所述涂布方法進(jìn)行的顯示器用部件的制造方法。背景技術(shù)彩色液晶用顯示器由濾色鏡、TFT用陣列基板等構(gòu)成。在這些濾色鏡或TFT用陣列基板的制造中，包含對(duì)作為被涂布部件的基板涂布涂布液(液體材料)并使之干燥而形成涂膜的工序。例如，要制造濾色鏡，而在玻璃基板的整個(gè)面上涂布黑色的光阻劑材料并使之干燥而形成黑色涂膜。并且，利用光刻技術(shù)將該黑色涂膜形成格子狀后，利用同樣的方法在格子間依次形成紅色、藍(lán)色、綠色光阻劑材料的涂膜。作為用于在被涂布部...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。