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一種自動(dòng)聚焦裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10934617

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一個(gè)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的景深一般都會(huì)隨著分辨率的增加而減小。如圖1所示,被檢測(cè)的物體,如平板顯示器、半導(dǎo)體晶圓或者是生物醫(yī)學(xué)的切片本身的彎曲程度大于這個(gè)景深的時(shí)候,則就需要設(shè)計(jì)一個(gè)自動(dòng)聚焦系統(tǒng),在檢測(cè)掃描時(shí),使每一幅圖像都保持清晰。但是,在現(xiàn)有技術(shù)中,還缺乏相關(guān)的應(yīng)用技術(shù)。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種自動(dòng)聚焦裝置,其目的是在檢測(cè)掃描時(shí),快速、實(shí)時(shí)、自動(dòng)地實(shí)現(xiàn)聚焦。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為本實(shí)用新型所涉及的自動(dòng)聚焦裝置,包括平臺(tái)、鏡頭、壓電陶...
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