技術編號：10684340
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。在同步輻射領域，對X射線光束進行傳播和調制的光束線上用到大量的光學元件，如反射鏡、單色器等。光學元件的表面面形誤差，特別是傾斜度誤差，影響到光束質量。為了提高同步輻射裝置的性能，必須在實施面形測量的基礎上對光束線進行調整。對于任何一種面形測量設備，受限于探測傳感元件的有限像素陣列數，存在測量精度-測量范圍的矛盾，即測量精度高的設備，其測量范圍低，而測量范圍高的設備，其測量精度較低。同時，現有的同步輻射光學元件面形檢測方法，如干涉儀無法測量強彎曲的表面(大變...
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