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接合裝置及接合方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10614465

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在將裸片(Die;半導體芯片)搭載在布線襯底或引線框架等的襯底上來組裝封裝體的工序的一部分中具有如下的接合工序,其從晶圓(wafer)吸附裸片,并將裸片直接載置到襯底上或臨時載置到中間載臺上,并利用接合頭進行安裝。作為這樣的接合裝置而具有專利文件I。在專利文件I中公開了如下技術(shù)為了防止因接合頭的重量化所導致的定位精度的降低,而不在接合頭上設置引起重量化的接合頭的旋轉(zhuǎn)軸,并通過精準載臺(precis1n-stage;中間載臺)上的切片(裸片)的旋轉(zhuǎn)來修正接合...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

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