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一種材料的微區(qū)光學(xué)、電學(xué)的測(cè)量裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10611292

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顯微光學(xué)技術(shù),例如顯微拉曼、顯微焚光,因其高分辨性和低損傷性廣泛應(yīng)用于材料微區(qū)性質(zhì)的表征?;诠步癸@微系統(tǒng)的原位電學(xué)測(cè)量技術(shù)在材料微區(qū)性質(zhì)表征方面具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì),如可以提供微區(qū)光學(xué)、電學(xué)等方面性質(zhì)的原位測(cè)量。而基于探針的傳統(tǒng)的電學(xué)測(cè)量由于探針座尺寸、重量等的限制,不能在商業(yè)化的共焦顯微光學(xué)儀器上使用。針對(duì)上述問(wèn)題,提出一種能夠在微區(qū)內(nèi)(納米量級(jí))實(shí)現(xiàn)在光照下材料精確的1-V電學(xué)性質(zhì)測(cè)量和在器件運(yùn)作過(guò)程中如柵壓調(diào)控下的光學(xué)測(cè)量的微區(qū)光學(xué)、電學(xué)的測(cè)量裝置及方法...
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