一種高透過玻璃基板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及玻璃板，尤其涉及一種高透過玻璃基板。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，電子顯示器已應(yīng)用到各個行業(yè)，及人們的生活生產(chǎn)中，幾乎覆蓋所有的電子、機械產(chǎn)品，尤其是高端顯示器至今仍在使用普通超薄超白玻璃作為顯示器蓋板，因此，通過給超薄超白玻璃基片的兩個表面分別設(shè)置多層功能膜系，可有效提高玻璃基板的透過率，其透過率達到或超過98%，通過多層疊加功能膜系，使顯示器蓋板色彩更加鮮艷，顯示信息和圖像更加清晰，同時還有效保護人們的眼睛。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型是為了解決上述不足，提供了一種高透過玻璃基板。
[0004]本實用新型的上述目的通過以下的技術(shù)方案來實現(xiàn):一種高透過玻璃基板，其特征在于:包括玻璃基片和玻璃基片兩側(cè)設(shè)有對稱的功能膜系，所述功能膜系由內(nèi)側(cè)至外側(cè)依次為:第一層為S12膜層，第二層為Nb2O5膜層，第三層為S12膜層，第四層為S12膜層，第五層為Nb205膜層，第六層為M32O5膜層，第七層為M32O5膜層，第八層為Nb20s膜層，第九層為Si02膜層，第十層為Si02膜層，第^ 層為Si02膜層。
[0005]所述第一層的S12膜層，雙面濺射厚度均為20μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體O2流量200ml/min，本底真空度3 X 10—3Pa。
[0006]所述第二層的Nb2O5膜層，雙面濺射厚度均為12.5μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體O2流量200ml/min，本底真空度2 X 10—3Pa。
[0007]所述第三、四層的S12膜層，雙面濺射厚度均為16μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體O2流量200ml/min，本底真空度3 X 10—3Pa。
[0008]所述第五、六、七、八層的Nb2O5膜層，雙面濺射厚度分別為30μπι、30μπι、30μπι、28μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體02流量200ml/min，本底真空度2X10—3Pa。
[0009]所述第九、十層的S12膜層，雙面濺射厚度為23μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體O2流量200ml/min，本底真空度3 X 10—3Pa。
[0010]所述第^^一層的S12膜層，雙面濺射厚度為23μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體O2流量200ml/min，本底真空度3 X 10—3Pa。
[0011]本實用新型通過在玻璃基片的兩個表面分別設(shè)置相同的疊加功能膜系。使其光通波段明顯增寬、波長400-650μπι，平均反射率降低到〈1%，可見光透過率提高到99%以上。
[0012]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點是:本實用新型通過在玻璃的兩側(cè)表面設(shè)置不同的功能膜系，實現(xiàn)了可見光高透過、顯示圖像更清晰、不失真，反射率〈1%，膜層附著力更好，不僅色彩更加鮮艷，還能有效保護眼睛。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步詳述。
[0015]如圖1所示，一種高透過玻璃基板，包括玻璃基片12和玻璃基片兩側(cè)設(shè)有對稱的功能膜系，所述功能膜系由內(nèi)側(cè)至外側(cè)依次為:第一層為S12膜層I，第二層為Nb2O5膜層2，第三層為S12膜層3，第四層為S12膜層4，第五層為Nb2O5膜層5，第六層為Nb2O5膜層6，第七層為Nb205膜層7，第八層為Nb205膜層8，第九層為Si02膜層9，第十層為Si02膜層10，第^ 層為S12 膜層11。
[0016]所述第一層的S12膜層I，雙面濺射厚度均為20μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體O2流量200ml/min，本底真空度3 X 10—3Pa。
[0017]所述第二層的Nb2O5膜層2，雙面濺射厚度均為12.5μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體O2流量200ml/min，本底真空度2 X 10—3Pa。
[0018]所述第三、四層的S12膜層3和S12膜層4，雙面濺射厚度均為16μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體02流量200ml/min，本底真空度3 X 10—3Pa。
[0019]所述第五、六、七、八層的Nb2O5膜層5、Nb205膜層6、Nb205膜層7和Nb2O5膜層8，雙面濺射厚度分別為30μπι、30μπι、30μπι、28μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體O2流量200ml/min，本底真空度 2 X 10—3Pa。
[0020]所述第九、十層的S12膜層9和S12膜層10，雙面濺射厚度均為23μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體02流量200ml/min，本底真空度3 X 10—3Pa。
[0021]所述第^^一層的S12膜層11，雙面濺射厚度為23μπι，濺射工作氣體Ar流量150ml/min，反應(yīng)氣體O2流量200ml/min，本底真空度3 X 10—3Pa。
[0022]以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種高透過玻璃基板，其特征在于:包括玻璃基片和玻璃基片兩側(cè)設(shè)有對稱的功能膜系，所述功能膜系由內(nèi)側(cè)至外側(cè)依次為:第一層為S12膜層，第二層為Nb2O5膜層，第三層為Si02膜層，第四層為Si02膜層，第五層為Nb205膜層，第六層為Nb20s膜層，第七層為Nb20s膜層，第八層為Nb205膜層，第九層為Si02膜層，第十層為Si02膜層，第^ 層為Si02膜層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高透過玻璃基板，其特征在于:所述第一層的S12膜層，雙面濺射厚度均為20μπι。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高透過玻璃基板，其特征在于:所述第二層的Nb2O5膜層，雙面濺射厚度均為12.5μπι。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高透過玻璃基板，其特征在于:所述第三、四層的S12膜層，雙面濺射厚度均為16μπι。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高透過玻璃基板，其特征在于:所述第五、六、七、八層的他2〇5膜層，雙面派射厚度分別為30μηι、30μηι、30μηι、28μηι。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高透過玻璃基板，其特征在于:所述第九、十層的S12膜層，雙面濺射厚度均為23μπι。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高透過玻璃基板，其特征在于:所述第十一層的S12膜層，雙面濺射厚度均為23μπι。
【專利摘要】本實用新型公開了一種高透過玻璃基板，包括玻璃基片和玻璃基片兩側(cè)設(shè)有對稱的功能膜系，所述功能膜系由內(nèi)側(cè)至外側(cè)依次為：第一層為SiO2膜層，第二層為Nb2O5膜層，第三層為SiO2膜層，第四層為SiO2膜層，第五層為Nb2O5膜層，第六層為Nb2O5膜層，第七層為Nb2O5膜層，第八層為Nb2O5膜層，第九層為SiO2膜層，第十層為SiO2膜層，第十一層為SiO2膜層。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點是：本實用新型通過在玻璃的兩側(cè)表面設(shè)置不同的功能膜系，實現(xiàn)了可見光高透過、顯示圖像更清晰、不失真，反射率<1%，膜層附著力更好，不僅色彩更加鮮艷，還能有效保護眼睛。
【IPC分類】C03C17/34
【公開號】CN205347236
【申請?zhí)枴緾N201620002439
【發(fā)明人】樊斌杰
【申請人】河南卓金光電科技有限公司
【公開日】2016年6月29日
【申請日】2016年1月5日