一種高純金屬有機(jī)化合物鋼瓶烘干檢漏裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種高純金屬有機(jī)化合物鋼瓶烘干檢漏裝置，屬于化工設(shè)備領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]高純金屬有機(jī)化合物(簡(jiǎn)稱為“MO”源)是制造LED、新一代太陽(yáng)能電池、相變存儲(chǔ)器、半導(dǎo)體激光器、射頻集成電路芯片等的核心原材料之一。
[0003]“MO”源系列物本身化學(xué)性質(zhì)的限制-遇水氧發(fā)生劇烈反應(yīng)的特性，所以對(duì)于包裝容器(鋼瓶)的密閉性以及水氧含量的要求非常高。一旦在鋼瓶中混有高于IPPm的水氧，則會(huì)嚴(yán)重影響“MO”源系列物的品質(zhì)，如果是鋼瓶的瓶體或者閥門存在高于4*10 9Pa.m3/s的漏率，也會(huì)嚴(yán)重影響“MO”源系列物的品種，如果嚴(yán)重的話更會(huì)帶來很大的危險(xiǎn)情況。
[0004]目前主要采取的檢漏方式通常是氦質(zhì)譜檢漏，但是對(duì)于設(shè)備中的水含量要求較高，所以設(shè)備都會(huì)在進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏前進(jìn)行粗清洗烘干。同樣由于氦質(zhì)譜檢漏也會(huì)在檢漏過程中帶入雜質(zhì)，使得“MO”源用鋼瓶會(huì)被污染，所以目前鋼瓶在使用前會(huì)首先經(jīng)過粗洗、烘干，然后檢漏，待確認(rèn)沒有問題后再進(jìn)行清洗烘干?，F(xiàn)有工藝在時(shí)間、周期上都存在很大不方便的地方，且由于各個(gè)步驟都是獨(dú)立過程，在銜接過程中非常有可能會(huì)導(dǎo)入新的污染源，從而影響到“MO”源鋼瓶的品質(zhì)，進(jìn)而影響高純“MO”源的品質(zhì)及其在MOCVD上的使用。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本實(shí)用新型的目的是要提供一種高純金屬有機(jī)化合物鋼瓶烘干檢漏裝置。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種高純金屬有機(jī)化合物鋼瓶烘干檢漏裝置，包括烘箱和檢漏干燥管，所述烘箱上設(shè)置有氦氣入口，所述檢漏干燥管貫穿烘箱內(nèi)部，檢漏干燥管一端設(shè)置有檢漏儀，檢漏干燥管另一端設(shè)置有真空栗，靠近檢漏儀一端的檢漏干燥管上設(shè)置有氮?dú)馊肟诠埽拷婵绽跻欢说臋z漏干燥管上依次設(shè)置有干燥柱、水氧檢測(cè)儀和內(nèi)漏檢測(cè)口，所述內(nèi)漏檢測(cè)口位于烘箱內(nèi)部。
[0007]進(jìn)一步，所述檢漏干燥管上設(shè)置有若干檢漏閥，每個(gè)檢漏閥位于每個(gè)鋼瓶上端的兩個(gè)閥門之間。
[0008]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，在一個(gè)裝置內(nèi)可以對(duì)高純金屬有機(jī)化合物鋼瓶進(jìn)行烘干并檢漏，避免了因工序銜接而引入新的污染源，保證了 MO”源鋼瓶的品質(zhì)。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步說明。
[0011]如圖1所示，一種高純金屬有機(jī)化合物鋼瓶烘干檢漏裝置，包括烘箱I和檢漏干燥管2，所述烘箱I上設(shè)置有氦氣入口 10，所述檢漏干燥管2貫穿烘箱I內(nèi)部，檢漏干燥管2一端設(shè)置有檢漏儀7，檢漏干燥管2另一端設(shè)置有真空栗5，靠近檢漏儀7 —端的檢漏干燥管2上設(shè)置有氮?dú)馊肟诠?，靠近真空栗5 —端的檢漏干燥管2上依次設(shè)置有干燥柱4、水氧檢測(cè)儀11和內(nèi)漏檢測(cè)口 3，所述內(nèi)漏檢測(cè)口 3位于烘箱I內(nèi)部，所述檢漏干燥管2上設(shè)置有若干檢漏閥8，每個(gè)檢漏閥8位于每個(gè)鋼瓶9上端的兩個(gè)閥門之間。
[0012]烘干:將清洗完成后的鋼瓶轉(zhuǎn)移進(jìn)入此設(shè)備體系，通過鋼瓶上端兩個(gè)閥門接口與烘干檢漏管連接。首先進(jìn)行鋼瓶烘干，打開鋼瓶上端兩個(gè)閥門使得鋼瓶?jī)?nèi)部空間和整個(gè)真空體系相連，通過烘箱尾端-干燥柱前段的水氧檢測(cè)儀檢測(cè)水氧含量以確定鋼瓶的烘干程度，待水氧檢測(cè)儀顯示體系中水氧含量都低于IPPM時(shí)，則說明鋼瓶已經(jīng)烘干達(dá)標(biāo)，可進(jìn)行檢漏程序。
[0013]檢漏:待烘箱及管道回復(fù)常溫后關(guān)閉氮?dú)膺M(jìn)口以及真空系統(tǒng)。首先對(duì)鋼瓶瓶體以及閥門外部進(jìn)行檢漏，打開鋼瓶連接的所有管路，連通檢漏儀，打開氦氣入口，向烘箱內(nèi)吹掃氦氣，如果發(fā)現(xiàn)漏率低于4*10 9Pa.πι3/8，則逐個(gè)關(guān)閉鋼瓶連接管道的閥門，以排查問題鋼瓶。如果沒有問題則改換管路，進(jìn)行內(nèi)漏檢測(cè)。連接內(nèi)漏檢測(cè)口和氦氣進(jìn)氣的管路，打開所有檢漏閥，關(guān)閉所有鋼瓶上端的兩個(gè)閥門，然后按照順序逐個(gè)打開各個(gè)鋼瓶上端的兩個(gè)閥門，如果測(cè)得漏率低于4*10 9Pa.m3/s，則說明當(dāng)時(shí)打開的閥門的同一個(gè)鋼瓶上的另一個(gè)閥門有問題，需要單獨(dú)復(fù)檢，如漏率仍低于標(biāo)準(zhǔn)值，則說明此閥門內(nèi)漏。
[0014]凡在不脫離本實(shí)用新型核心的情況下做出的簡(jiǎn)單的變形或修改均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高純金屬有機(jī)化合物鋼瓶烘干檢漏裝置，其特征在于，包括烘箱和檢漏干燥管，所述烘箱上設(shè)置有氦氣入口，所述檢漏干燥管貫穿烘箱內(nèi)部，檢漏干燥管一端設(shè)置有檢漏儀，檢漏干燥管另一端設(shè)置有真空栗，靠近檢漏儀一端的檢漏干燥管上設(shè)置有氮?dú)馊肟诠埽拷婵绽跻欢说臋z漏干燥管上依次設(shè)置有干燥柱、水氧檢測(cè)儀和內(nèi)漏檢測(cè)口，所述內(nèi)漏檢測(cè)口位于烘箱內(nèi)部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純金屬有機(jī)化合物鋼瓶烘干檢漏裝置，其特征在于，所述檢漏干燥管上設(shè)置有若干檢漏閥，每個(gè)檢漏閥位于每個(gè)鋼瓶上端的兩個(gè)閥門之間。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種高純金屬有機(jī)化合物鋼瓶烘干檢漏裝置，包括烘箱和檢漏干燥管，所述烘箱上設(shè)置有氦氣入口，所述檢漏干燥管貫穿烘箱內(nèi)部，檢漏干燥管一端設(shè)置有檢漏儀，檢漏干燥管另一端設(shè)置有真空泵，靠近檢漏儀一端的檢漏干燥管上設(shè)置有氮?dú)馊肟诠埽拷婵毡靡欢说臋z漏干燥管上依次設(shè)置有干燥柱、水氧檢測(cè)儀和內(nèi)漏檢測(cè)口，所述內(nèi)漏檢測(cè)口位于烘箱內(nèi)部。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，在一個(gè)裝置內(nèi)可以對(duì)高純金屬有機(jī)化合物鋼瓶進(jìn)行烘干并檢漏，避免了因工序銜接而引入新的污染源，保證了MO”源鋼瓶的品質(zhì)。
【IPC分類】G01M3/32, C23C16/44
【公開號(hào)】CN204788857
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520517571
【發(fā)明人】顧宏偉, 茅嘉原, 李敏, 王士峰, 洪海燕, 嚴(yán)金林
【申請(qǐng)人】蘇州普耀光電材料有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請(qǐng)日】2015年7月16日