補(bǔ)給裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明揭示了一種補(bǔ)給裝置。該補(bǔ)給裝置包括：設(shè)有引入端口和排放端口的本體，包含多個(gè)分開(kāi)的蓋的蓋單元，每個(gè)蓋連接至本體的一端并適于圍繞本體的一端旋轉(zhuǎn)，以及打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器，該打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器支承每個(gè)蓋的一個(gè)表面并圍繞每個(gè)蓋的連接至本體的一端的部分旋轉(zhuǎn)每個(gè)蓋。
【專(zhuān)利說(shuō)明】補(bǔ)給裝置
[0001]本申請(qǐng)要求2013年7月11日提交的韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)N0.10-2013-0066650的權(quán)益，
其如在本文中完全闡述一樣通過(guò)引用結(jié)合于此。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本申請(qǐng)涉及補(bǔ)給原材料的補(bǔ)給裝置。

【背景技術(shù)】
[0003]一般來(lái)說(shuō)，單晶錠生長(zhǎng)設(shè)備可包括具有限定在其中的空間的室、安裝在室中以允許多晶原材料被引入其中并在其中熔化的坩堝、將坩堝加熱以熔化多晶原材料的加熱器、以及將晶種浸沒(méi)在容納在坩堝中的熔融液體內(nèi)并逐漸提升正在生長(zhǎng)的單晶錠的升降裝置。
[0004]為了便于將原材料引入定位在室中的坩堝，需要補(bǔ)給原材料的裝置。補(bǔ)給裝置形成為設(shè)有引入端口、排放端口以及用于存儲(chǔ)原材料的內(nèi)部空間的容器形狀。當(dāng)該空間填充有原材料時(shí)，排放端口關(guān)閉，且當(dāng)原材料被供應(yīng)至坩堝時(shí)，排放端口打開(kāi)。
[0005]當(dāng)原材料被第一次引入坩堝時(shí)可使用補(bǔ)給裝置，且當(dāng)容納熔融液體的坩堝補(bǔ)給原材料時(shí)，也可使用補(bǔ)給裝置。
[0006]為了將原材料供應(yīng)至坩堝，通過(guò)升降裝置降低補(bǔ)給裝置以鄰接室中的坩堝。此外，當(dāng)補(bǔ)給裝置定位成鄰接坩堝時(shí)，補(bǔ)給裝置的排放端口可打開(kāi)，且所存儲(chǔ)的原材料可被引入坩堝。由于補(bǔ)給裝置非?？拷釄逯械娜廴谝后w用以原材料的再供應(yīng)，在補(bǔ)給過(guò)程中，補(bǔ)給裝置可能被熔融液體污染。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]各實(shí)施例提供了一種補(bǔ)給裝置，其能夠防止由于熔融液體而帶來(lái)的污染和對(duì)該補(bǔ)給裝置周?chē)臉?gòu)成物的損壞。
[0008]在一個(gè)實(shí)施例中，補(bǔ)給裝置包括:設(shè)有引入端口和排放端口的本體，包括多個(gè)分開(kāi)的蓋的蓋單元，每個(gè)蓋連接至本體的一端并適于圍繞本體的一端旋轉(zhuǎn)，以及打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器，打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器支承每個(gè)蓋的一個(gè)表面并圍繞每個(gè)蓋的連接至本體的一端的部分旋轉(zhuǎn)每個(gè)蓋。
[0009]該蓋單元可形成為在其中心處具有開(kāi)口的板形狀，通過(guò)將在其中心處具有開(kāi)口的板分成至少兩件來(lái)形成該蓋。
[0010]本體的一端的外周表面可設(shè)有凸起，且每個(gè)蓋連接至該凸起。
[0011]每個(gè)蓋可包括:蓋板，蓋板設(shè)有上表面、下表面、定位在上表面與下表面之間的多個(gè)側(cè)表面，以及從側(cè)表面中的一個(gè)突出的延伸部分；以及將該延伸部分連接至凸起的連接部分。
[0012]該連接部分可包括:第一至第三螺母；第一固定螺栓，該第一固定螺栓設(shè)有具有第一通孔的一端和通過(guò)刺穿凸起聯(lián)接至第一螺母的另一端；第二固定螺栓，該第二固定螺栓設(shè)有具有第二通孔的一端和通過(guò)刺穿凸起聯(lián)接至第二螺母的另一端；以及連接螺栓，該連接螺栓通過(guò)穿過(guò)第一通孔、延伸部分和第二通孔而聯(lián)接至第三螺母，其中，蓋板圍繞連接螺栓旋轉(zhuǎn)。
[0013]刺穿凸起的第一固定螺栓和第二固定螺栓中的每個(gè)的橫截面可具有多邊形或十字形形狀。
[0014]打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器可包括:支承錐體，該支承錐體支承每個(gè)蓋板的下表面的一個(gè)區(qū)域；以及支承件，該支承件連接至支承錐體的上端并支承該支承錐體。
[0015]蓋板的旋轉(zhuǎn)角度可通過(guò)支承錐體的垂直運(yùn)動(dòng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0016]該支承錐體在其中心處可設(shè)有允許支承件插入其中的溝槽，其中，支承件的插入溝槽的一端可聯(lián)接至支承錐體的底部。
[0017]本體的相鄰于引入端口的外周表面可設(shè)有沿水平方向突出的中斷凸起。
[0018]該補(bǔ)給裝置還可包括引導(dǎo)部分，該引導(dǎo)部分沿本體的徑向延伸，兩端固定至本體的相鄰于引入端口的兩個(gè)不同區(qū)域，并設(shè)有允許支承件插入其中的通孔。
[0019]填充本體的材料可以是具有范圍從0.5mm至10mm直徑的多晶體塊。
[0020]在另一實(shí)施例中，補(bǔ)給裝置包括:本體，該本體包含引入端口、排放端口以及布置在引入端口與排放端口之間的中空刺穿部分；蓋單元，該蓋單元包含多個(gè)蓋，每個(gè)蓋連接至本體的相鄰于排放端口的一端；以及打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器，該打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器支承每個(gè)蓋并旋轉(zhuǎn)每個(gè)蓋以打開(kāi)和關(guān)閉排放端口。
[0021]當(dāng)蓋關(guān)閉排放端口時(shí)，該蓋形成為板形狀，所述板被分成多件并在其中心處具有開(kāi)口。
[0022]該打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器包括:支承錐體，該支承錐體支承每個(gè)蓋的下表面的一個(gè)區(qū)域；以及支承件，所述支承件連接至支承錐體的上端并支承該支承錐體。
[0023]每個(gè)蓋可通過(guò)支承錐體的垂直運(yùn)動(dòng)圍繞其連接至本體的一部分旋轉(zhuǎn)。
[0024]該補(bǔ)給裝置還可包括引導(dǎo)部分，該引導(dǎo)部分沿本體的徑向延伸，兩端固定至本體的相鄰于引入端口的兩個(gè)不同區(qū)域，并設(shè)有允許支承件插入其中的通孔。
[0025]該引導(dǎo)部分可形成為將被彎曲，引入端口通過(guò)彎曲引導(dǎo)部分而可被分成第一引入端口和第二引入端口，并且第一引入端口的尺寸可不同于第二引入端口的尺寸。
[0026]在另一實(shí)施例中，生長(zhǎng)裝置包括:室，該室設(shè)有沿水平方向從室的內(nèi)壁突出的支承凸起；定位在室中的坩堝；補(bǔ)給裝置，該補(bǔ)給裝置存儲(chǔ)原材料并將所存儲(chǔ)的原材料供應(yīng)至坩堝；以及升降裝置，該升降裝置在室內(nèi)垂直移動(dòng)補(bǔ)給裝置，其中，補(bǔ)給裝置包括:本體，該本體包括引入端口、排放端口以及形成在本體的相鄰于引入端口的外周表面上并由支承凸起止擋并支承的止擋凸起；蓋單元，該蓋單元包括多個(gè)分開(kāi)的蓋，每個(gè)蓋連接至本體的一端；支承錐體，該支承錐體支承每個(gè)蓋的下表面；以及支承件，該支承件具有連接至所述支承錐體的上端的一端，以及連接至升降裝置的另一端。
[0027]在補(bǔ)給裝置的止擋凸起被室的支承凸起止擋并支承之后，蓋圍繞本體的一端旋轉(zhuǎn)。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0028]被包括在內(nèi)以提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解并且被納入其中并構(gòu)成此申請(qǐng)的一部分的附圖示出本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例，并且與說(shuō)明書(shū)一起用來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的原理。在附圖中:
[0029]圖1是示出根據(jù)實(shí)施例的補(bǔ)給裝置的第一立體圖；
[0030]圖2是示出圖1中所示的補(bǔ)給裝置的第二立體圖；
[0031]圖3是示出圖1中所示的補(bǔ)給裝置的仰視圖；
[0032]圖4是示出圖2中的虛線(xiàn)所指示的第一蓋的分解立體圖；
[0033]圖5是示出圖4中所示的第一蓋的組裝的立體圖；
[0034]圖6是示出圖3中所示的多個(gè)蓋板的平面圖；
[0035]圖7是示出支承圖3中所示的蓋板的打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器的立體圖；
[0036]圖8是示出沿圖7中的線(xiàn)AB截取的圖7的蓋板以及打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器的剖視圖；
[0037]圖9是示出圖7中所示的支承錐體的放大圖；
[0038]圖10是示出典型補(bǔ)給裝置的剖視圖；
[0039]圖11是示出根據(jù)另一實(shí)施例的蓋子的視圖；
[0040]圖12是示出圖11中所示的蓋子的蓋板的視圖；
[0041]圖13是示出根據(jù)另一實(shí)施例的補(bǔ)給裝置的立體圖；
[0042]圖14是示出含有根據(jù)實(shí)施例的補(bǔ)給裝置的單晶生長(zhǎng)裝置的剖視圖；以及
[0043]圖15a至15c是示出使用根據(jù)實(shí)施例的補(bǔ)給裝置用原材料填充坩堝的多個(gè)視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0044]從下面結(jié)合附圖的說(shuō)明將清楚地理解各實(shí)施例。在各實(shí)施例的描述中，將理解，當(dāng)層(或薄膜)、區(qū)域、樣式或結(jié)構(gòu)被稱(chēng)為在另一層(或薄膜)、區(qū)域、鍵區(qū)或樣式“上”時(shí)，技術(shù)術(shù)語(yǔ)“上”和“下”同時(shí)包括“直接”和“間接”的意思。另外，關(guān)于在每層“上”和“下”是基于附圖進(jìn)行參照。
[0045]將理解，為了使說(shuō)明簡(jiǎn)化和清楚，一些元件的尺寸相對(duì)于其它元件夸張、省略或示意性示出。此外，附圖中所示的各元件不需要按比例繪制。在所有附圖中盡可能地用相同的附圖標(biāo)記標(biāo)示相同或類(lèi)似的部件。下面，將參考附圖描述根據(jù)各實(shí)施例的補(bǔ)給裝置以及包含其的單晶生長(zhǎng)裝置。
[0046]圖1是示出根據(jù)一實(shí)施例的補(bǔ)給裝置100的第一立體圖，圖2是示出圖1中所示的補(bǔ)給裝置100的第二立體圖，以及圖3是示出圖1中所示的補(bǔ)給裝置100的仰視圖。
[0047]參考圖1至3，補(bǔ)給裝置100是用原材料(例如多晶硅團(tuán))填充定位在反應(yīng)室(例如生長(zhǎng)單晶的室)中的容器(例如坩堝)的裝置。
[0048]補(bǔ)給裝置100包括設(shè)有引入端口 13-1和13-2以及排出端口 15的本體10、連接至本體10的下端以覆蓋排放端口 15的覆蓋單元20，以及支承蓋單元20并調(diào)節(jié)蓋單元20以打開(kāi)或關(guān)閉排放端口 15的打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30。
[0049]本體10可設(shè)有刺穿部分，其在兩端部12和14處開(kāi)口，沿縱向延伸并且是中空的。例如，本體10可具有圓柱形管子或管道形狀，但各實(shí)施例不限于此。本體10可具有提供原材料存儲(chǔ)空間的任何形狀。例如，本體10的橫截面可具有包括圓形、橢圓形或多邊形的各種形狀。這里，端部可指本體10的一側(cè)的端部。
[0050]本體10的第一端部12可設(shè)有用于穿過(guò)其引入原材料的引入端口 13-1和13-2，而第二端部14可設(shè)有排放所引入的原材料的排放端口。這里，第一端部12和第二端部14可定位在本體10的相反側(cè)處。
[0051]本體10的第一和第二端部12和14中的每個(gè)可以是圓柱形，但各實(shí)施例不限于此。根據(jù)本體10的形狀，它們可以形成為圓形、橢圓形或多邊形。
[0052]本體10沿直徑方向延伸，并可設(shè)有引導(dǎo)部分18，引導(dǎo)部分18的兩端固定指第一端部12的兩個(gè)不同部分。
[0053]本體10的第一端部12可設(shè)有兩個(gè)引入端口 13-1和13_2，且可通過(guò)引導(dǎo)部分18分成第一引入端口 13-1和第二引入端口 13-2。這里，本體10的直徑方向可以垂直于本體10的縱向。
[0054]引導(dǎo)部分18可具有板或桿形狀。引導(dǎo)部分18的一端可連接至第一端部12的一個(gè)部分，第一端部12的另一端可連接至另一部分。引導(dǎo)部分18可設(shè)有形成在引導(dǎo)部分18的一端與另一端之間的通孔18-1，以使得打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30的支承件34能夠插入其中。
[0055]例如，通孔18-1可形成在引導(dǎo)部分18的中心處。通孔18-1可以與蓋單元20的開(kāi)口 24的中心對(duì)齊，這將在后面描述。
[0056]止擋凸起19可形成在本體10的外周上相鄰于第一端部12。止擋凸起19可以形成為從本體10的上外周表面水平突出的環(huán)形狀，但各實(shí)施例不限于此。在其它實(shí)施例中，可設(shè)置彼此間隔開(kāi)的多個(gè)止擋凸起。止擋凸起19可以通過(guò)設(shè)置在室中的支承凸起701 (參見(jiàn)圖14)吊起和支承，這將在后面描述。
[0057]本體10的第二端部14的外周表面可設(shè)有凸起14-1。凸起14_1可以形成為在本體10外從本體10的外周表面突出。例如，凸起14-1可以是設(shè)置到本體10的第二端部14的凸緣。蓋單元20的一端可以連接至凸起14-1。
[0058]凸起14-1可以形成為環(huán)形狀，但各實(shí)施例不限于此。即，在其它實(shí)施例中，多個(gè)凸起可布置在外周表面上并彼此間隔開(kāi)，且每個(gè)凸起可連接至蓋單元20的蓋20-1、20-2、20-3和20-4中對(duì)應(yīng)的一個(gè)。
[0059]本體可以由石英形成以防止存儲(chǔ)在其中的原材料被污染，但各實(shí)施例不限于此。
[0060]蓋單元20可以形成為在其中心處具有開(kāi)口 24的板形狀，并可分成多個(gè)構(gòu)件。例如，蓋單元20可形成為在其中心處具有圓形開(kāi)口 24的圓板形狀，并可分成多個(gè)蓋20-1至20-n (這里，η是大于I的自然數(shù))。蓋20_1至20_η (這里，η是大于I的自然數(shù))可以對(duì)應(yīng)地連接至凸起14-1的不同部分。
[0061]蓋單元20可包括多個(gè)蓋20-1至20-n (這里，η是大于I的自然數(shù))。蓋20_1至
20-n (這里，η是大于I的自然數(shù))的數(shù)量可以等于或大于2。
[0062]蓋20-1至20-n(例如，η = 4)中的每個(gè)可具有連接至本體10的第二端部14的一端，并可圍繞該一端旋轉(zhuǎn)，該端以鉸接方式連接至第二端部14以打開(kāi)或關(guān)閉排放端口 15。
[0063]蓋20-1至20-n (例如，η = 4)中的每個(gè)的長(zhǎng)度小于排放端口 15的直徑的一半。因此，當(dāng)排放端口 15被蓋20-1至20-n (例如，η = 4)關(guān)閉時(shí)，開(kāi)口 24可以形成在排放端口 15的中心處。
[0064]例如，當(dāng)排放端口 15被蓋20-1至20-n (例如，η = 4)關(guān)閉時(shí)，蓋可形成板形狀或在其中心具有開(kāi)口 24的板形狀。
[0065]在圖1中，蓋20-1至20-n (例如，η = 4)可以設(shè)置在關(guān)閉排放端口 15的閉合狀態(tài)下。在圖2中，蓋20-1至20-n (例如，η = 4)可以設(shè)置在打開(kāi)排放端口 15的打開(kāi)狀態(tài)下。
[0066]雖然開(kāi)口 24在圖1和3中示出為具有圓形形狀，但各實(shí)施例不限于此。在其它實(shí)施例中，開(kāi)口 24可具有橢圓形或多邊形形狀。
[0067]在圖1至3中，處于閉合狀態(tài)的蓋20-1至20-n (例如，η = 4)可形成在其中心處具有開(kāi)口 24的圓板形狀。但是，處于閉合狀態(tài)的蓋20-1至20-η(例如，η = 4)的形狀可以由排放端口 15的形狀確定。在其它實(shí)施例中，閉合狀態(tài)下的形狀可以是橢圓形或多邊形。
[0068]蓋20-1至20-n (例如，η = 4)可以彼此間隔開(kāi)預(yù)定距離，且每個(gè)蓋的一端可連接至凸起14-1。同時(shí)，蓋20-1至20-n (例如，η = 4)之間的間隔距離可以小于要存儲(chǔ)在補(bǔ)給裝置的原材料塊的直徑。
[0069]蓋20-1至20-n (例如，η = 4)中的每個(gè)可包括蓋板和含有多個(gè)螺栓和螺母的連接部分。
[0070]圖4是示出圖2中的虛線(xiàn)部分11所指示的第一蓋20-1的分解立體圖，而圖5是示出圖4中所示的第一蓋20-1的組裝的立體圖。第二至第四蓋20-2至20-4的結(jié)構(gòu)可以與第一蓋20-1的結(jié)構(gòu)相同。
[0071]參考圖4和5，第一蓋20-1可以包括蓋板310和連接部分322、324、332、334、352和 354。
[0072]蓋板310、320、330和340 (參見(jiàn)圖7)中的每個(gè)可具有從其一端延伸的延伸部分312、322、332、342(參見(jiàn)圖7)，以及穿透面向彼此的延伸部分312、322、332、342的兩個(gè)側(cè)表面的通孔 101、102、103、104。
[0073]例如，蓋板310可具有從其延伸的延伸部分312，且延伸部分312可設(shè)有沿水平方向刺穿該延伸部分312的通孔101。這里，水平方向可以是面向彼此的延伸部分312的兩個(gè)側(cè)表面延伸穿過(guò)的方向。
[0074]連接部分322、324、332、334、352和354可以將延伸部分312連接至凸起14-1。蓋板310可以圍繞連接部分322、324、332、334、352和354旋轉(zhuǎn)。
[0075]例如，連接部分322、324、332、334、352和354可包括第一和第二固定螺栓322和324、連接螺栓332以及第一至第三螺母334、352和354。
[0076]第一固定螺栓322可包括具有通孔301的第一部分322_1和從第一部分322_1延伸的第二部分322-2。第二固定螺栓324可包括具有通孔302的第一部分324-1和從第一部分324-1延伸的第二部分324-2。
[0077]第二部分322-2和324_2可形成為多面體和十字形結(jié)構(gòu)。第二部分322_2和324_2的端部可設(shè)有聯(lián)接至第二和第三螺母的螺紋。
[0078]第一固定螺栓322可以定位在延伸部分312的一側(cè)處，而第二固定螺栓324可以定位在延伸部分312的另一側(cè)處。
[0079]連接螺栓332可以通過(guò)第一固定螺栓322的通孔301、延伸部分312的通孔101以及第二固定螺栓324的通孔302連接至第一螺母334。
[0080]S卩，連接螺栓332可與第一和第二固定螺栓322和324以及延伸部分312相互連接，而蓋板310可以圍繞連接螺栓332旋轉(zhuǎn)。
[0081]凸起14-1可以具有多個(gè)通孔(例如342和344)，允許第一和第二固定螺栓322和324的第二部分322-2和324-2插入其中。
[0082]通孔(例如342和344)的橫截面形狀可以由第二部分322_2和324_2的形狀決定。例如，通孔(例如342和344)的橫截面形狀可以是三角形、矩形或使得第二部分322-2和324-2插入其中的橫截面。
[0083]第一固定螺栓322的第二部分322-2可穿過(guò)形成在凸起14_1中的通孔342。具有穿過(guò)通孔342的第二部分322-2的端部可以聯(lián)接至第二螺母352。
[0084]第二固定螺栓324的第二部分324-2可穿過(guò)形成在凸起14-1中的通孔344。具有穿過(guò)通孔342的第二部分324-2的端部可以聯(lián)接至第三螺母354。
[0085]通過(guò)第一和第二固定螺栓322和324以及第二和第三螺母352和354，蓋板310可以固定至凸起14-1。
[0086]由于第一和第二固定螺栓322和324在延伸部分312的兩側(cè)支承蓋板310，且第一和第二固定螺栓322和324的第二部分322-2和324-2具有多邊形或十字形形狀橫截面、而不是圓形橫截面，可以防止蓋板310圍繞第一和第二固定螺栓322和324旋轉(zhuǎn)。
[0087]圖6是圖3中所示的多個(gè)蓋板310至340的平面圖。
[0088]參考圖3和6，蓋板310至340中的每個(gè)可包括上表面401(參見(jiàn)圖4)、下表面402(參見(jiàn)圖3)以及定位在上表面401和下表面402之間的多個(gè)側(cè)表面411、412、413和414。
[0089]當(dāng)關(guān)閉時(shí)(參見(jiàn)圖7)，蓋板310至340可形成在其中心處具有開(kāi)口 24的圓板形狀。蓋板310至340中的每個(gè)可具有從側(cè)表面411、412、413和414的第一側(cè)表面411突出的延伸部分 312、322、332、342。
[0090]延伸部分312、322、332、342可從第一側(cè)表面411的一個(gè)區(qū)域沿第一方向突出。延伸部分312、322、332和342可分別具有通孔101至104。第一側(cè)表面411可以是曲面。這里，第一方向可以是從第二側(cè)表面412延伸至第一側(cè)表面411的方向。
[0091]例如，第一側(cè)表面411可以是具有與圓柱形本體10的內(nèi)周表面相同曲率的曲面，但各實(shí)施例不限于此。
[0092]定位在第一側(cè)表面411和第二側(cè)表面412之間的第三側(cè)表面413和第四側(cè)表面414可以面對(duì)相鄰蓋板320或340的第三側(cè)表面413和第四側(cè)表面414。
[0093]面對(duì)第一側(cè)表面411的第二側(cè)表面412可以是凹曲面，但各實(shí)施例不限于此。由于第二側(cè)表面412是接觸支承錐體32的部分，該凹曲面可以緊密地接觸支承錐體32。
[0094]由于蓋板310、320、330和340中的每個(gè)的直徑或長(zhǎng)度dl小于排放端口 15的直徑的一半，當(dāng)排放端口 15被蓋板20-1至20-n (例如，η = 4)關(guān)閉時(shí)，蓋板310、320、330和340的第二側(cè)表面412可以形成開(kāi)口 24。此時(shí)，由于第二側(cè)表面412是凹曲面，開(kāi)口 24可具有圓形形狀。但各實(shí)施例不限于此。
[0095]蓋板310、320、330和340可覆蓋排放端口 15的一部分，而支承錐體32 (其將在下文描述)可覆蓋該開(kāi)口 24。
[0096]例如，蓋板310、320、330和340中的每個(gè)的直徑dl對(duì)排放端口的直徑d2的比率(dl:d2)可以是1:2.5至4。開(kāi)口 24的直徑d3對(duì)排放端口 15的直徑d2的比率(d3:d2)可以是1:2至5。此外，支承錐體32的直徑d4對(duì)排放端口 15的直徑d2的比率(d4: d2)可以是1:2至5。
[0097]圖11是示出根據(jù)另一實(shí)施例的蓋21-1和21-2的視圖，而圖12是示出圖1中所不的蓋21-1和21-2的蓋板410和420的視圖。
[0098]參考圖11和12，與圖1中所示的包括四個(gè)蓋20-1至20_4的先前實(shí)施例相反，圖11中所示的實(shí)施例可以包括兩個(gè)蓋21-1和21-2。
[0099]第一和第二蓋21-1和21-2可以彼此間隔開(kāi)一定距離，且第一和第二蓋21_1和
21-2中的每個(gè)的一端可以連接至凸起14-1。第一和第二蓋21-1和21-2中的每個(gè)可以包括蓋板410、420以及多個(gè)螺栓和螺母。包含在第一和第二蓋21-1和21-2中的螺栓和螺母可具有與圖4中所描述的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，因此將省略其描述。
[0100]蓋板410和420可以是圓形板的兩部分，且可具有相同或?qū)ΨQ(chēng)的形狀。
[0101]蓋板410和420中的每個(gè)可包括上表面、下表面以及定位在該上表面和該下表面之間的多個(gè)側(cè)表面511、512、513和514。
[0102]當(dāng)關(guān)閉時(shí)，蓋板410至420可形成在其中心處具有開(kāi)口 24的圓板形狀。蓋板410和420中的每個(gè)可具有從各側(cè)表面的第一側(cè)表面511的一個(gè)區(qū)域突出的延伸部分410-1或410-2。延伸部分410-1或410-2可具有通孔101-1或101-2。第一側(cè)表面511可以是曲面。這里，第一方向可以是從第二側(cè)表面512延伸至第一側(cè)表面511的方向。
[0103]定位在蓋板410的第一側(cè)表面511與第二側(cè)表面512之間的第三側(cè)表面513和第四側(cè)表面514可分別面對(duì)第二蓋板420的第三側(cè)表面和第四側(cè)表面。第二側(cè)表面512可以是凹曲面，但各實(shí)施例不限于此。由于第二側(cè)表面512是接觸支承錐體32的部分，該凹曲面可以緊密地接觸支承錐體32。
[0104]打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30可支承蓋板310、320、330和340中的每個(gè),并通過(guò)垂直運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)蓋板410和420。當(dāng)蓋板410和420轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，排放端口 15可打開(kāi)或關(guān)閉。
[0105]圖7是示出支承圖3中所示的蓋板310、320、330和340的打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30的立體圖，而圖8是示出沿圖7中的線(xiàn)AB截取的圖7的蓋板以及打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器的剖視圖。圖7是示出完全關(guān)閉排放端口 15的蓋板310、320、330和340的立體圖。
[0106]參考圖7和8，打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30包括支承蓋板310、320、330和340中的每個(gè)的下表面402的一個(gè)區(qū)域的支承錐體32，以及具有連接至支承錐體32的一端和連接至外部升降裝置780的另一端的支承件34 (參見(jiàn)圖14)。
[0107]支承錐體32可具有中心部分比其外周部分突出更遠(yuǎn)的錐形形狀，并可由石英形成以防止污染原材料。支承件34可具有桿狀，并可由鑰(Mo)形成。
[0108]圖9是示出圖7中所示的支承錐體32的放大圖。
[0109]參考圖9，支承錐體32可包括第一部分SI和第二部分S2，第一部分SI形成支承錐體32的從下側(cè)表面501跨越一定距離的外周部分，第二部分S2形成定位在支承錐體32的中心處、除了第一部分SI之外的其余部分。
[0110]參考圖8，第一部分SI可支承蓋板310、320、330和340的相鄰于第二側(cè)表面412的各部分。第一部分SI可以形成為平坦的以穩(wěn)定地支承蓋板310、320、330和340。
[0111]第二部分S2可以形成在呈升高錐體形狀的支承錐體32的中心處。第二部分S2的外周表面可以是具有恒定曲率Rl的曲面。例如，第二部分S2的曲率Rl可以等于半徑在55mm與66mm之間的圓的曲率。
[0112]當(dāng)蓋板310、320、330和340轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，在蓋板310、320、330和340的邊緣部分或角落部分與第二部分S2之間可發(fā)生摩擦。在該實(shí)施例中，第二部分S2可具有恒定曲率的曲面，由此防止由于摩擦而損壞支承錐體32。
[0113]支承錐體32可允許支承件34插入其中心，并可設(shè)有暴露底面的溝槽31。支承件34的一端可以插入溝槽31并聯(lián)結(jié)到支承錐體32的底部。
[0114]例如，螺紋溝槽35可形成在支承錐體32的溝槽31的底部處，且支承件34的一端可設(shè)有將要聯(lián)接至螺紋溝槽35的螺紋。支承件34的一端可插入溝槽31。一旦插入，支承件34的一端可與形成在溝槽31中的螺紋溝槽35聯(lián)接。
[0115]支承件34的另一端可通過(guò)穿過(guò)上述的引導(dǎo)部分18的通孔18-1而連接至外部升降裝置780 (參見(jiàn)圖14)。
[0116]該引導(dǎo)部分18可便于支承件34的垂直運(yùn)動(dòng)并引導(dǎo)支承件34，從而支承件34與開(kāi)口 24的中心對(duì)齊。此外，在支承件34的垂直運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，引導(dǎo)部分18可用作防止支承件34的側(cè)向搖動(dòng)。
[0117]連接至支承件34的支承錐體32可以通過(guò)外部升降裝置780 (參見(jiàn)圖14)移動(dòng)，且由支承錐體32支承的蓋板310、320、330和340可根據(jù)支承錐體32的運(yùn)動(dòng)而圍繞旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)。如上所述，該旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)可以是將凸起14-1連接至蓋板310、320、330、340的一端的連接部分，具體地，圖14中所示的連接螺栓332。連接部分的結(jié)構(gòu)不限于圖4中所示的結(jié)構(gòu)，而可以采用在連接時(shí)可旋轉(zhuǎn)的任何結(jié)構(gòu)。
[0118]打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30可以通過(guò)調(diào)節(jié)參考水平面33與支承錐體32的最下端36之間的距離來(lái)調(diào)節(jié)對(duì)應(yīng)蓋板310、320、330和340的旋轉(zhuǎn)角度。這里，參考水平面33可以是與本體10的第二端14平行并定位在與第二端14相同的水平處的平面。
[0119]圖15a至15c是示出使用根據(jù)一實(shí)施例的補(bǔ)給裝置100用原材料填充坩堝720(參見(jiàn)圖14)的多個(gè)視圖。
[0120]參考圖15a，支承錐體32的最下端36與參考水平面33之間的距離D調(diào)節(jié)成使得蓋20-1至20-4完全關(guān)閉排放端口 15，如圖8所示。
[0121]例如，當(dāng)排放端口 15被蓋20-1至20-4完全關(guān)閉時(shí)，參考水平面33與支承錐體32的最下端36之間的距離D可以是α。在參考水平面33與支承錐體32的最下端36之間的距離D是α的情形下，蓋板310、320、330和340已經(jīng)相對(duì)于參考水平面33旋轉(zhuǎn)的角度可以是0°。此時(shí)，排放端口 15可以被蓋板310、320、330和340以及支承錐體32的第二區(qū)域S2關(guān)閉。
[0122]在排放端口 15被蓋20-1至20-4完全關(guān)閉時(shí)，本體10的內(nèi)部填充有通過(guò)引入端口 13-1和13-2供應(yīng)的原材料810 (例如，多晶體塊)。
[0123]在本體10填充了原材料810之后，補(bǔ)給裝置100可以通過(guò)升降裝置780降低至室710。
[0124]降低的補(bǔ)給裝置100的止擋凸起19可以被設(shè)置在室710內(nèi)部的支承凸起701擋住，且由此可通過(guò)支承凸起701停止補(bǔ)給裝置100的本體10的下降。
[0125]在止擋凸起19被支承凸起701擋住之前，參考水平面33與支承錐體32的最下端36之間的距離D可以是α。
[0126]參考圖15b，在本體10被支承凸起701中斷并擋住時(shí)，打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30通過(guò)升降裝置780降低。由此，允許蓋20-1至20-4轉(zhuǎn)動(dòng)。根據(jù)蓋20_1至20_4的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，排放端口 15可逐漸打開(kāi)。隨著蓋20-1至20-4的旋轉(zhuǎn)角度的增加，排放端口 15的打開(kāi)程度可增加。
[0127]隨著打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30降低，參考水平面33與支承錐體32的最下端36之間的距離D可以變得大于α，而蓋板310、320、330和340相對(duì)于參考水平面33的旋轉(zhuǎn)角度可增加。此時(shí)，排放端口 15可以被蓋板310、320、330和340以及支承錐體32的第二區(qū)域S2部分地關(guān)閉和部分地打開(kāi)。
[0128]參考水平面33與支承錐體32的最下端36之間的可允許多晶體原材料810塊平穩(wěn)排放的最小距離D可以是β。
[0129]隨著支承錐體32從圖8中所示的位置降低，排放端口 15逐漸打開(kāi)。參考水平面33與支承錐體32的最下端36之間的允許原材料810平穩(wěn)排放的最小距離可以定義為排放端口 15的打開(kāi)距離D。
[0130]填充補(bǔ)給裝置100的多晶體塊810 (例如多晶硅塊)原材料的大小可以等于或小于100mm,例如,在0.5mm與10mm之間。
[0131]多晶體塊810 (例如，多晶硅塊)可以根據(jù)其大小分類(lèi)。例如，直徑小于50mm的多晶體塊可以定義為第一多晶體塊(也稱(chēng)為晶片多聚)，而直徑等于或大于50mm (例如在50mm與10mm之間)的多晶體塊可定義為第二多晶體塊(也稱(chēng)為熔核多聚)。這里，多晶體塊的直徑可以是多晶體塊的最大直徑。
[0132]參考圖15c，當(dāng)進(jìn)一步降低打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30，且支承錐體32與蓋板310、320、330和340的下表面間隔開(kāi)時(shí)，蓋板310、320、330和340相對(duì)于參考水平面33旋轉(zhuǎn)的角度可以是90°。此時(shí)，排放端口 15可以完全打開(kāi)。
[0133]圖10是示出典型補(bǔ)給裝置9的剖視圖。
[0134]參考圖10，補(bǔ)給裝置9可以包括在其兩端Ia和Ib敞開(kāi)的主體1、形成為錐體形狀以打開(kāi)和關(guān)閉主體I的一端的引體2以及連接至引體2的絲線(xiàn)3。主體I的下端Ia可以設(shè)有引入端口 4b，且主體I的上端Ib可以設(shè)有排放端口 4a。
[0135]從主體I的下端Ia至引體2的下端的允許多晶體塊從補(bǔ)給裝置9平穩(wěn)排放至排放端口 4a的長(zhǎng)度d (下文稱(chēng)為“打開(kāi)長(zhǎng)度”)可以由多晶體塊的直徑?jīng)Q定。例如，隨著多晶體塊的直徑增加，補(bǔ)給裝置9的打開(kāi)長(zhǎng)度d會(huì)增加。
[0136]例如，當(dāng)本體I的直徑是230mm時(shí)，對(duì)于晶片多聚的打開(kāi)長(zhǎng)度d可以是80mm，而對(duì)于熔核多聚的打開(kāi)長(zhǎng)度d可以是120_。
[0137]使用補(bǔ)給裝置9生長(zhǎng)原材料(例如硅)的工藝可包括原材料熔化工藝、使用補(bǔ)給裝置另外裝有原材料的附加裝料工藝以及晶體生長(zhǎng)工藝，其以此順序進(jìn)行。
[0138]這里，進(jìn)行附加的裝料工藝以通過(guò)額外地裝有原材料來(lái)提高熔融液體量，因?yàn)楫?dāng)坩堝裝有初始原材料且所裝的原材料熔化時(shí)，坩堝中的熔融液體的表面水平會(huì)由于原材料大小的變化而大大降低。
[0139]在附加裝料工藝中，熔融液體的表面可以升高到接近坩堝的上端的水平。相應(yīng)地，在補(bǔ)給裝置9的打開(kāi)長(zhǎng)度d根據(jù)具有更大直徑的熔核多聚的使用而增加的情形下，引體2可能會(huì)有接觸坩堝中熔融液體或者在其周?chē)臉?gòu)成物(例如熱遮蔽單元和刻度桿)的風(fēng)險(xiǎn)。由此，補(bǔ)給裝置9會(huì)被污染，或者會(huì)損壞補(bǔ)給裝置9周?chē)慕M件。
[0140]在使用具有較小尺寸的晶片多聚的情形下，可防止發(fā)生上述的情形。但是，晶片多聚經(jīng)受比熔核多聚更多的工藝，且因此制造成本可能提高。
[0141]由于圖10中所示的引體2需要覆蓋整個(gè)排放端口 4a，引體2的下端的直徑需要等于排放端口 4a的直徑。
[0142]但是，在所示的實(shí)施例中，由蓋板單元20限定的開(kāi)口 24的直徑小于排放端口 15的直徑。因此，可以通過(guò)使用具有與圖10的情形中相比相對(duì)小尺寸(例如高度h和直徑d4)的支承錐體32來(lái)打開(kāi)和關(guān)閉排放端口 15。
[0143]由于所示的實(shí)施例使用具有小尺寸的支承錐體32來(lái)打開(kāi)或關(guān)閉排放端口 15，為了熔核多聚的平穩(wěn)排放可縮短打開(kāi)距離β (參見(jiàn)圖15b)。
[0144]例如，當(dāng)支承錐體32甚至從圖8中所示的位置降低1mm至20mm時(shí),可順利排放熔核多聚。
[0145]相應(yīng)地，所示的實(shí)施例可通過(guò)縮短支承錐體32降低以允許熔核多聚的平穩(wěn)排放的距離，來(lái)防止污染補(bǔ)給裝置100和損壞圍繞補(bǔ)給裝置100定位的生長(zhǎng)設(shè)備的構(gòu)成物。
[0146]此外，根據(jù)該實(shí)施例，蓋單元20圍繞凸起14-1旋轉(zhuǎn)，且由此可防止熔融液體由于掉落的原材料而濺出坩堝。
[0147]圖13是示出根據(jù)另一實(shí)施例的補(bǔ)給裝置100的立體圖。與圖1的附圖標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記代表相同的構(gòu)成物。將簡(jiǎn)要給出或省略相同構(gòu)成物的描述。
[0148]參考圖13，與圖1的具有直線(xiàn)或線(xiàn)性形狀的引導(dǎo)部分18相反，補(bǔ)給裝置100-1的引導(dǎo)部分180在其中心處彎曲。
[0149]引導(dǎo)部分180可包括定位在位于引導(dǎo)部分180的中心處的通孔18_1的一側(cè)處的第一部分182，以及定位在通孔18-1的另一側(cè)處的第二部分184。引導(dǎo)部分180的第一部分182和第二部分184可形成在通孔18-1的位置處彎曲的結(jié)構(gòu)。
[0150]第一部分182的一端可連接至第一端部12的一個(gè)區(qū)域，而其另一端可連接至第二部分184的一端。第二部分184的另一端可連接至第一端12的另一區(qū)域。
[0151]第一引入端口 13-3和第二引入端口 13-4可通過(guò)第一部分182和第二部分184而彼此區(qū)分開(kāi)。由于引導(dǎo)部分180形成為在其中心處彎曲，第一引入端口的大小不同于第二引入端口的大小。即，第一引入端口 13-3小于第二引入端口 13-4。
[0152]在給補(bǔ)給裝置填充原材料時(shí)，當(dāng)本體傾斜時(shí)本體可容易地填充原材料且大部分原材料塊通過(guò)兩個(gè)弓I入端口的在較低位置的一個(gè)引入。
[0153]引入端口的數(shù)量可以是2個(gè)，但由于在使用時(shí)本體傾斜，為了便利，可僅使用弓丨入端口之一。通過(guò)允許所使用的引入端口具有比不使用的引入端口具有更大的尺寸，原材料可更容易地且快速地被弓I入補(bǔ)給裝置。
[0154]但是，在第一部分182與第二部分184之間的角度太大的情形中，引導(dǎo)支承件34的引導(dǎo)部分180可能具有被損壞或破裂的風(fēng)險(xiǎn)。
[0155]由第一部分182與第二部分184形成的角度Θ可大于90°并小于180°。由第一部分182與第二部分184形成的角度Θ可在120°與160°之間。
[0156]為了確保原材料塊的平穩(wěn)引入，第一端部12的直徑dl可以在230mm與260mm之間。
[0157]因此，根據(jù)該實(shí)施例，本體10可以比圖1所示的先前實(shí)施例更快且更容易地填充原材料。
[0158]圖14是示出含有根據(jù)一實(shí)施例的補(bǔ)給裝置100的單晶生長(zhǎng)裝置200的剖視圖。
[0159]參考圖14，單晶生長(zhǎng)裝置200可包括室710、坩堝720、加熱件730、坩堝支承件731、熱屏蔽件750、絕緣材料760以及升降裝置780。
[0160]根據(jù)室710的聯(lián)接位置，室710可以包括本體室711、穹頂室712以及拖拉室713。
[0161]坩堝720可以安裝在本體室711中，且穹頂室712可形成在本體室711的上端處的蓋部分。提供其中單晶硅錠從多晶硅生長(zhǎng)的環(huán)境的本體室711和穹頂室712可具有圓柱形形狀，其中具有容納空間。拖拉室713定位在穹頂室712的上端處，并可形成生長(zhǎng)的單晶硅錠的空間。
[0162]室710可具有沿水平方向從室710的內(nèi)壁突出的支承凸起701。例如，支承凸起701可沿水平方向從拖拉室713的內(nèi)壁突出。支承凸起701可支承補(bǔ)給裝置100的止擋凸起19。
[0163]一旦補(bǔ)給裝置100的止擋凸起19被室710的支承凸起701支承，即使在打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30通過(guò)升降裝置780降低時(shí)，補(bǔ)給裝置100的本體10也不再下降而是停止。
[0164]補(bǔ)給裝置100由支承凸起701止擋，且蓋20-1至20_4由于打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30的減低而旋轉(zhuǎn)。由此，可逐漸打開(kāi)排放端口 15。
[0165]坩堝720可布置在本體室711內(nèi)部，且坩堝支承件731可定位在坩堝720下方以支承坩堝720。加熱件730可以布置在本體室711中以與坩堝720的外周表面間隔開(kāi)。
[0166]絕緣材料760可安裝在加熱件730與本體室711的內(nèi)壁之間，并可阻擋來(lái)自加熱件730的熱泄漏到本體室711外部。
[0167]升降裝置780可包括固定部分782以固定和支承生長(zhǎng)對(duì)象或補(bǔ)給裝置100，以及升降部分784以升高或降低生長(zhǎng)后的對(duì)象(例如單晶錠)或者補(bǔ)給裝置100的打開(kāi)和閉合調(diào)節(jié)器30。
[0168]固定部分782可以具有線(xiàn)纜型或軸型，且其一端可設(shè)有籽晶夾頭。升降部分784可使用電機(jī)升高或降低補(bǔ)給裝置100或者連接至固定部分782的生長(zhǎng)目標(biāo)。
[0169]籽晶可以連接至籽晶夾頭，用于單晶體生長(zhǎng)。
[0170]為了將原材料供應(yīng)至單晶生長(zhǎng)裝置200，補(bǔ)給裝置100可以連接至籽晶夾頭。例如，打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30的支承件34可以連接至籽晶夾頭，且連接至籽晶夾頭的打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30可以通過(guò)升降部分784升高或降低。通過(guò)升高或降低打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器30，蓋單元20可以打開(kāi)或關(guān)閉排放端口 15。
[0171]如從上面描述變得明顯，各實(shí)施例可防止被熔融液體污染和對(duì)圍繞補(bǔ)給裝置定位的構(gòu)成物損壞。
[0172]對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然可對(duì)本發(fā)明作出各種改型和變型而不脫離本發(fā)明精神或范圍。因此，本發(fā)明旨在涵蓋其任何改型和變型，只要它們落在所附權(quán)利要求及其等同物的范圍內(nèi)即可。
【權(quán)利要求】
1.一種補(bǔ)給裝置，包括: 本體，所述本體設(shè)有引入端口和排放端口； 蓋單元，所述蓋單元包括多個(gè)分開(kāi)的蓋，每個(gè)蓋連接至所述本體的一端并適于圍繞所述本體的一端旋轉(zhuǎn)；以及 打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器，所述打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器支承每個(gè)蓋的一個(gè)表面并圍繞每個(gè)蓋的連接至所述本體的一端的部分旋轉(zhuǎn)每個(gè)蓋。
2.如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 所述蓋單元形成為在其中心處具有開(kāi)口的板形狀，通過(guò)將在其中心處具有開(kāi)口的板分成至少兩件來(lái)形成所述蓋。
3.如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 所述本體的一端的外周表面設(shè)有凸起，且每個(gè)所述蓋連接至所述凸起。
4.如權(quán)利要求3所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 每個(gè)蓋包括: 蓋板，所述蓋板設(shè)有上表面、下表面、定位在所述上表面與所述下表面之間的多個(gè)側(cè)表面，以及從所述側(cè)表面中的一個(gè)突出的延伸部分；以及 連接部分，所述連接部分將所述延伸部分連接至所述凸起。
5.如權(quán)利要求4所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 所述連接部分包括: 第一至第三螺母； 第一固定螺栓，所述第一固定螺栓設(shè)有具有第一通孔的一端和通過(guò)刺穿所述凸起聯(lián)接至第一螺母的另一端； 第二固定螺栓，所述第二固定螺栓設(shè)有具有第二通孔的一端和通過(guò)刺穿所述凸起聯(lián)接至第二螺母的另一端；以及 連接螺栓，所述連接螺栓通過(guò)穿過(guò)第一通孔、延伸部分和第二通孔而聯(lián)接至第三螺母， 其中，所述蓋板圍繞所述連接螺栓旋轉(zhuǎn)。
6.如權(quán)利要求5所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 刺穿所述凸起的所述第一固定螺栓和所述第二固定螺栓中的每個(gè)的橫截面具有多邊形或十字形形狀。
7.如權(quán)利要求4所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 所述打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器包括: 支承錐體，所述支承錐體支承每個(gè)蓋板的下表面的一個(gè)區(qū)域；以及 支承件，所述支承件連接至所述支承錐體的上端并支承所述支承錐體。
8.如權(quán)利要求7所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 所述蓋板的旋轉(zhuǎn)角度通過(guò)所述支承錐體的垂直運(yùn)動(dòng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
9.如權(quán)利要求7所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 所述支承錐體在其中心處設(shè)有允許所述支承件插入其中的溝槽， 其中，所述支承件的插入所述溝槽的一端聯(lián)接至所述支承錐體的底部。
10.如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 所述本體的相鄰于所述引入端口的外周表面設(shè)有沿水平方向突出的中斷凸起。
11.如權(quán)利要求7所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 還包括引導(dǎo)部分，所述引導(dǎo)部分沿本體的徑向延伸，兩端固定至所述本體的相鄰于所述引入端口的兩個(gè)不同區(qū)域，并設(shè)有允許所述支承件插入其中的通孔。
12.如權(quán)利要求1所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 填充所述本體的材料是具有范圍從0.5mm至10mm直徑的多晶體塊。
13.—種補(bǔ)給裝置，包括: 本體，所述本體包括引入端口、排放端口以及布置在所述引入端口與所述排放端口之間的中空刺穿部分； 蓋單元，所述蓋單元包含多個(gè)蓋，每個(gè)蓋連接至所述本體的相鄰于所述排放端口的一端；以及 打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器，所述打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器支承每個(gè)蓋并旋轉(zhuǎn)每個(gè)蓋以打開(kāi)和關(guān)閉所述排放端口。
14.如權(quán)利要求13所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 當(dāng)所述蓋關(guān)閉所述排放端口時(shí)，所述蓋形成為板形狀，所述板被分成多件并在其中心處具有開(kāi)口。
15.如權(quán)利要求13所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 所述打開(kāi)和關(guān)閉調(diào)節(jié)器包括: 支承錐體，所述支承錐體支承每個(gè)蓋的下表面的一個(gè)區(qū)域；以及 支承件，所述支承件連接至所述支承錐體的上端并支承所述支承錐體。
16.如權(quán)利要求15所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 每個(gè)蓋通過(guò)支承錐體的垂直運(yùn)動(dòng)圍繞其連接至所述本體的一部分旋轉(zhuǎn)。
17.如權(quán)利要求15所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 還包括引導(dǎo)部分，所述引導(dǎo)部分沿本體的徑向延伸，兩端固定至所述本體的相鄰于所述引入端口的兩個(gè)不同區(qū)域，并設(shè)有允許所述支承件插入其中的通孔。
18.如權(quán)利要求17所述的補(bǔ)給裝置，其特征在于， 所述引導(dǎo)部分形成為將被彎曲，所述引入端口通過(guò)彎曲引導(dǎo)部分而被分成第一引入端口和第二引入端口，并且所述第一引入端口的尺寸不同于第二引入端口的尺寸。
19.一種生長(zhǎng)裝置，包括: 室，所述室設(shè)有沿水平方向從所述室的內(nèi)壁突出的支承凸起； 定位在所述室中的坩堝； 補(bǔ)給裝置，所述補(bǔ)給裝置存儲(chǔ)原材料并將所存儲(chǔ)的原材料供應(yīng)至所述坩堝；以及 升降裝置，所述升降裝置在所述室內(nèi)垂直移動(dòng)所述補(bǔ)給裝置， 其中，所述補(bǔ)給裝置包括: 本體，所述本體包括引入端口、排放端口以及形成在所述本體的相鄰于所述引入端口的外周表面上并由支承凸起止擋并支承的止擋凸起； 蓋單元，所述蓋單元包括多個(gè)分開(kāi)的蓋，每個(gè)蓋連接至本體的一端； 支承錐體，所述支承錐體支承每個(gè)蓋的下表面；以及 支承件，所述支承件具有連接至所述支承錐體的上端的一端，以及連接至升降裝置的另一端。
20.如權(quán)利要求19所述的生長(zhǎng)裝置，其特征在于， 在所述補(bǔ)給裝置的止擋凸起被所述室的支承凸起止擋并支承之后，所述蓋圍繞所述本體的一端旋轉(zhuǎn)。
【文檔編號(hào)】C30B15/02GK104233467SQ201310737057
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月11日
【發(fā)明者】張笑英, 洪寧皓 申請(qǐng)人:Lg矽得榮株式會(huì)社